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工作原理
通常力平衡式伺服傾角傳感器由非接觸位移傳感器、力矩馬達、誤差和放大電路、反饋電路、懸臂質(zhì)量塊五部分組成。懸臂質(zhì)量塊與力矩馬達的電樞連接在一起。非接觸位移傳感器用于檢測質(zhì)量塊的位移量和方向。當整個傳感器發(fā)生傾斜時，懸臂質(zhì)量塊便離開原來的平衡位置，非接觸位移傳感器檢測出該變化后，將位置信號送入誤差和放大電路，一方面?zhèn)鞲衅鬏敵雠c傾角成一定比例的模擬信號；另一方面，該信號經(jīng)反饋電路送入力矩馬達的線圈，此時，力矩馬達會產(chǎn)生一個與懸臂質(zhì)量塊運動方向相反、大小相等的力矩，力圖使懸臂質(zhì)量塊回到原來的平衡位置。這樣經(jīng)過一定的時間后，懸臂質(zhì)量塊就停留在一個新的平衡位置上，這時，傳感器輸出的信號才是真正有效的信號。該輸出信號一般為直流電壓信號，也可內(nèi)置V/I轉(zhuǎn)換，輸出4~20mA信號。但無論是輸出電壓或者電流信號，都與用度來表示的角度值成正弦關(guān)系。也就是說，要直接以度、分、秒為計量單位來表示角度值是，必須將傳感器輸出的電壓或電流信號進行反正弦運算。
力平衡式伺服傾角傳感器的精度相對于電解質(zhì)原理或者是電容原理的傾角傳感器在非線性、重復性、遲滯、溫度漂移和工作溫度、抗沖擊、振動等性能上要*得多。該型傳感器的輸出信號混雜有一定分量的噪聲，一般地，通過采用二階低通濾波器便可良好地解決。

技術(shù)指標
量程	±1.0°	±14.5°	±30°	±90°
靈敏軸非對準性	<0.15°	<0.50°	<1.00°	<1.00°
零點偏差	<0.15°	<0.25°	<0.50°	<0.50°
非線性	<0.005°	<0.02°	<0.02°	<0.05°
固有頻率（典型值）	3Hz	30Hz	30Hz	30Hz
帶寬-3dB,（典型值）	3Hz	30Hz	30Hz	30Hz
滿量程輸出	±5.00 volts±0.5%	±5.00 volts±0.5%	±5.00 volts±0.5%	±5.00 volts±0.5%
靈敏度非對準性	<100 ppm/℃	<100 ppm/℃	<100 ppm/℃	<100 ppm/℃
零點溫度系數(shù)	<0.003°/℃	<0.002°/℃	<0.002°/℃	<0.002°/℃
分辨率	<0.00005°	<0.00005°	<0.00005°	<0.00005°
重復性	<0.002°	<0.003°	<0.003°	<0.003°
噪聲	<0.0002°rms	<0.003°rms	<0.003°rms	<0.003°rms
電源電壓	±12～±18VDC
消耗電流	<15mA
輸出阻抗	100Ω典型值
工作溫度	-40～+80℃
存儲溫度	-60～+90℃
沖擊	1000g,0.001second,1/2sine
振動	20grms
密封	環(huán)氧樹脂