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FM-CVD 石英管式微波等離子體裝置|富陽精密

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產(chǎn)品型號FM-CVD

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更新時間:2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù):319次

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產(chǎn)品簡介

FM-CVD 石英管式微波等離子體裝置

詳細介紹

 

 


FM-CVD 石英管式微波等離子體裝置

 

 



   
石英管式微波等離子體裝置是我廠專門為大學和研究機構(gòu)設(shè)計的小型化產(chǎn)品,可用于薄膜材料的

制備和等離子體物理等方面的研究工作,并且特別適宜于大中專學校的材料、化學工程與工藝、物理

等專業(yè)的學生實驗。該裝置利用微波能激勵稀薄氣體放電在石英管中產(chǎn)生穩(wěn)態(tài)等離子體,通過通入不

同的工作氣體,可進行功能薄膜材料的制備、化學合成、表面刻蝕、等離子體診斷等多方面的實驗。


 

一、FM-CVD 石英管式微波等離子體裝置主要配置

 

 

   1. 2.45GHz,0~500W微波功率連續(xù)可調(diào),可滿足不同實驗的要求;
   2.
ф50mm的石英管真空室,帶有一個觀察窗和一個診斷窗口,保證各

種實驗方便進行;
   3.
石英管采用水冷卻,可保證裝置在高功率條件下安全運行;
   4.
配置了3路氣體管路,氣體流量控制方便;
    
真空測量系統(tǒng)及控制閥門可保證真空室所需的真空環(huán)境。

二、典型實驗
    1.
等離子體化學氣相沉積
       A
(氣)+B(氣)→ C(固)+D(氣)
     
反應(yīng)氣體A、B被激發(fā)為等離子體狀態(tài), 其活性基團發(fā)生反應(yīng)生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上,可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜氮化碳薄膜、碳納米材料等。
    2.
等離子體表面刻蝕
      A
(氣)+B(固)→ C(氣)
    
反應(yīng)氣體A 被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應(yīng)生成氣態(tài)物C,可用于集成電路的刻蝕實驗。
    3.
等離子體催化反應(yīng)
     
利用等離子體中豐富的活性成分,如紫外和可見光子、電子、離子、自由基;高反應(yīng)性的中性成分,如活性原子,受激原子態(tài),從而引發(fā)在常規(guī)化學反應(yīng)中不能或很難實現(xiàn)的化學反應(yīng)。
    4.
等離子體表面改性
      A
(氣)+B(固)→ C(固)
    
反應(yīng)氣體A 被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面發(fā)生反應(yīng)生成新的化合物從而達到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的。可廣泛用于高分子材料、金屬材料及生物科研材料的表面改性實驗。


 

關(guān)鍵詞:控制閥

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