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杭州庚雨儀器有限公司


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Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號Agilent TwisTorr 804 FS

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

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更新時間：2021-10-05 09:10:57瀏覽次數(shù)：222次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：917條

所在地區(qū)：浙江杭州市

聯(lián)系人：銷售 （銷售）

產(chǎn)品簡介

AgilentTwisTorr804FS高真空渦輪分子泵采用TwisTorr拖動技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性

詳細(xì)介紹

Agilent TwisTorr 804 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動技術(shù)對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì)，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動，并能保證穩(wěn)定的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，減少系統(tǒng)停機(jī)時間，并能確保長時間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 804 FS 泵的軸承和干式潤滑劑設(shè)計(jì)，使得泵無需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝?？蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。

特性：

1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對小分子氣體的高壓縮比實(shí)現(xiàn)了高性能和小系統(tǒng)占用空間。

2.高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。

3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動、低噪音和更好的軸承工作條件可延長泵的使用壽命，從而實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化，減少系統(tǒng)停機(jī)時間，并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。

4.的軸承和干式潤滑劑 — 免維護(hù)、免油，實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。

5.“三維"泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達(dá)到，可在泵的操作條件下達(dá)到更好通量和壓縮性能。

典型渦輪泵應(yīng)用：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。

典型渦輪泵應(yīng)用：

領(lǐng)域詳細(xì)說明應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器
  • 針對質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
  • 具有多入口泵組的定制泵
  • 低成本、易于使用、高分析性能
  • 對于 GC/MS，提供用于相對低氣體載荷環(huán)境的 1 個真空室和用于分析無機(jī)樣品的中等真空接口
  • 對于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
  • 對于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
  • 對于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
  • 質(zhì)譜
  • GC/MS
  • LC/MS
  • ICP-MS
  • TOF
科研中的真空應(yīng)用
  • 非常清潔、可靠和高性價比的 HV 和 UHV
  • 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染
  • 高速和高壓縮
  • 可以以任意角度安裝
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 高能物理
  • 融合技術(shù)
  • 一般 UHV 研究
  • 同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工
  • 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案
  • 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
  • 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵

薄膜沉積：

  • 玻璃涂層設(shè)備（建筑和汽車玻璃，平板顯示器）
  • 薄膜太陽能電池生產(chǎn)（光電）
  • 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)（CD、DVD、磁光光盤）
  • 磁性存儲介質(zhì)
  • 表面處理
  • 光學(xué)涂層（眼科、精密光電）
  • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

設(shè)備加工：

  • 生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管
  • 疏散燈（高速公路照明、投影機(jī)）
  • X 射線管和電子設(shè)備

一般工藝：

  • 真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器
  • 分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì)
  • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
  • 低振動渦旋泵適用于敏感的顯微分析
  • 可快速、無油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
  • 集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制，幾乎不生成電磁噪音
  • 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
  • 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體（He、H）
  • 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求，例如真空裝載鎖
  • 通過對多個渦旋泵聯(lián)用一個前級泵，可提高工具的可靠性
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處
  • 電子顯微鏡（SEM、TEM）
  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
  • 表面分析
  • 半導(dǎo)體制造

性能指標(biāo) ：

抽速：ISO200K-F
ISO250K-F
CFF10
N2
He
H2
Ar		720 L/s
660 L/s
485 L/s
690 L/s
氣體通量 (*)風(fēng)冷
（空氣溫度 25 °C）		水冷
（水溫 15 °C/室溫 25 °C）
N24.3 mbar L/s
255 SCCM		6.1 mbar L/s
367 SCCM
He
噪音壓力級別
（全速運(yùn)行時距離 1 m 處）		43 dB(A)


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