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Turbo-V 2300 TwisTorr渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號(hào)Turbo-V 2300 TwisTorr

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更新時(shí)間：2021-10-05 09:12:47瀏覽次數(shù)：312次

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杭州庚雨儀器有限公司

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所在地區(qū)：浙江杭州市

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產(chǎn)品簡介

Turbo-V2300TwisTorr泵擁有同類產(chǎn)品中更快的N2 抽速

詳細(xì)介紹

Turbo-V 2300 TwisTorr 泵擁有同類產(chǎn)品中更快的 N₂ 抽速。該泵采用的 Twistorr 技術(shù)，是小分子氣體壓縮比更高的渦輪分子泵。該泵專為科研應(yīng)用設(shè)計(jì)，并且采用專用全顯示機(jī)架控制器進(jìn)行操作。由于能耐受很高的前級(jí)壓力，該泵可采用安捷倫 TS600 等經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的小型干式渦旋泵作為前級(jí)泵。

特性

1.Turbo-V2300解決方案包括獨(dú)立式泵和機(jī)架式顯示控制單元

2.*的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)與TwisTorr技術(shù)相結(jié)合，可減少泵的級(jí)數(shù)

3.*的整體型轉(zhuǎn)子可減少材料應(yīng)力并改善組裝件容差

4.電機(jī)可縮短啟動(dòng)時(shí)間并在氣體負(fù)荷變化情況下提高泵的穩(wěn)定性

5.熱耗散更低，真空性能更高

6.*的水冷系統(tǒng)

7.優(yōu)化的風(fēng)冷系統(tǒng)

8.潔凈的免維護(hù)真空

9.采用了安捷倫A-PLUS軟件（原T-plus）

渦輪分子泵應(yīng)用范例

安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。

典型渦輪泵應(yīng)用

領(lǐng)域	詳細(xì)說明	應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器	針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器具有多入口泵組的定制泵低成本、易于使用、高分析性能對(duì)于 GC/MS，提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無機(jī)樣品的中等真空接口對(duì)于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng) 對(duì)于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池對(duì)于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備	質(zhì)譜 GC/MS LC/MS ICP-MS TOF
科研中的真空應(yīng)用	非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染高速和高壓縮可以以任意角度安裝聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體	高能物理融合技術(shù) 一般 UHV 研究同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工	為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵	薄膜沉積：玻璃涂層設(shè)備（建筑和汽車玻璃，平板顯示器）薄膜太陽能電池生產(chǎn)（光電）光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)（CD、DVD、磁光光盤）磁性存儲(chǔ)介質(zhì) 表面處理光學(xué)涂層（眼科、精密光電）膜或箔上的輥式/卷繞涂覆設(shè)備加工：生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管疏散燈（高速公路照明、投影機(jī)） X 射線管和電子設(shè)備一般工藝：真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器	分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì) 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng) 低振動(dòng)渦旋泵適用于敏感的顯微分析可快速、無油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制，幾乎不生成電磁噪音非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體（He、H）符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求，例如真空裝載鎖通過對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵，可提高工具的可靠性聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處	電子顯微鏡（SEM、TEM）聚焦離子束系統(tǒng) (FIB) 表面分析半導(dǎo)體制造

技術(shù)規(guī)格
真空性能

*N₂ 抽速 ()**	N₂：2050 L/s
*He 抽速 ()**	N₂：1800 L/s
*H₂ 抽速 ()**	1500 L/s
N₂ 壓縮比	> 8 × 10⁸
He 壓縮比	8 × 10⁵
H₂ 壓縮比	4 × 10⁴
*極限真空（使用推薦的前級(jí)泵）**	10^-10 mbar (7.5 x 10^-11 Torr) (**)
N₂ 前級(jí)壓力	4 mbar
入口法蘭	ISO 250F，CFF 12 英寸（外徑）
前級(jí)管道法蘭	KF 40 NW

其他

額定轉(zhuǎn)速	33300 rpm
使用推薦前級(jí)泵，無氣體負(fù)載的啟動(dòng)時(shí)間	< 6 分鐘
*H₂ 抽速 ()**	1500 L/s
推薦的最小前級(jí)泵	TriScroll 600
工作位置	垂直/倒立
操作環(huán)境溫度	+5 °C 至 +35 °C
烘烤溫度	120 °C (CFF)，80 °C (ISO)
轉(zhuǎn)子溫度	120 °C
振動(dòng)參數(shù)（位移）	在入口法蘭處小于 0.01 μm
潤滑油	性潤滑
冷卻要求	水
冷卻水	建議流速：200 L/h 溫度：+15 °C 至 +30 °C 壓力：3 至 5 bar（45 至 75 psi）
噪音水平	1 米內(nèi)小于 60 dB(A)
儲(chǔ)存溫度	-20 °C 至 +70 °C
環(huán)境保護(hù)	IP54
重量	ISO 250：54.2 kg（119.5 磅） CFF 12 英寸：55.3 kg（121.9 磅）

(*)：無濾網(wǎng)
(*)：根據(jù)德國工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) (DIN) 28 428，在*烘烤的無泄漏的測試罩中，用渦輪泵連接一個(gè) CFF 法蘭，并采用推薦的前級(jí)泵，抽取 48 小后，測試罩內(nèi)部測得的真空度

稱作極限真空
控制器性能指標(biāo)

輸入電壓	100-120 VAC，220-240 Vac，1 相
輸入頻率	50-60 Hz
輸入功率	1300 VA
輸出電壓	64 Vac
輸出頻率	555 Hz
啟動(dòng)時(shí)的輸出功率	560 W
額定輸出功率	450 W
重量（兩種型號(hào)）	12.5 kg（28 磅）
安裝類別	II
污染等級(jí)	2