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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市東信高科自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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（氬氣/氧氣）等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：王經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-08-25 13:25:35瀏覽次數(shù)：2534次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷(xiāo)商

商鋪產(chǎn)品：20條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：王經(jīng)理 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 加工定制 是

（氬氣/氧氣）等離子清洗機(jī)
如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹（氬氣/氧氣）等離子清洗機(jī)

型號(hào)（氧氣/氬氣）等離子清洗機(jī)
外形尺寸660Wx 700Dx 560H(mm)
腔體尺寸200*200*270
腔體材質(zhì)進(jìn)口316不銹鋼
真空泵干泵/油泵可選
氣路 兩路工作氣體（氧氣、氬氣、氮?dú)狻⑺姆嫉龋?/td>
等離子發(fā)生器40Khz
控制方式PLC+觸摸屏
功率0-600W可調(diào)
陶瓷封裝進(jìn)口高頻陶瓷

等離子清洗機(jī)使用氣體，工藝參考配方：常用氧氣+氬氣，根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)?、四氟化碳等氣體，不同類(lèi)型的氣體在清洗過(guò)程中的反應(yīng)機(jī)理是不同的，活潑氣體的等離子體具有更強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)活性，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。

氧氣（Oxygen,O2）：清洗方式：物理+化學(xué)

氮?dú)猓∟itrogen,N2）：清洗方式：物理+化學(xué)

二氧化碳（Carbon,CO2）：清洗方式：物理+化學(xué)

氬氣（Argon,Ar）：清洗方式：物理

壓縮空氣（Compressed Air,CDA）：清洗方式：物理+化學(xué)

（氬氣/氧氣）等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得*的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；

容易采用數(shù)控技術(shù)，自動(dòng)化程度高;具有高精度的控制裝置，時(shí)間控制的精度很高;

正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行，不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。

等離子處理過(guò)程為一種干制程，相對(duì)于濕制程來(lái)說(shuō)，其具有諸多的優(yōu)勢(shì)，這是等離子體本身特征所決定了。由高壓電離出的總體顯電中性的等離子體具有很高的活性，能夠與材料表面原子進(jìn)行不斷的反應(yīng)， 使表面物質(zhì)不斷激發(fā)成氣態(tài)物質(zhì)揮發(fā)出去，達(dá)到清洗的目的。其在材料表面處理過(guò)程中具有很好的實(shí)用性，是一種干凈、環(huán)保、高效的清洗方法。


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