等離子清洗機也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
根據(jù)用途的不同，可選用多種構造的等離子清洗設備，并可通過選用不用種類的氣體，調(diào)整裝置的基本結構大致是相同的，一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、點擊、氣體導入系統(tǒng)、工作傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵，高頻電源通常用13.56MHz的無線電波，等離子清洗機的運行過程如下：
（1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動運行裝置，開始排氣，使真空室的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2min。
（2）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100pa。根據(jù)清洗材質(zhì)的不用，可分別選用氧氣、氫氣、或氮氣等氣體。
（3）在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體*籠罩在被處理工件，開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
（4）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及汽化的污垢排出，同時向真空室內(nèi)鼓入氣體，并使氣壓升至一個大氣壓。
