青島佳鼎分析儀器有限公司
閱讀:175發(fā)布時(shí)間:2024-7-23
來源:網(wǎng)易新聞
快科技3月5日消息,Intel發(fā)布了一條特殊的開箱視頻,堪稱最貴:他們從ASML拿到的一臺(tái)高NA EUV光刻機(jī),已經(jīng)開始在美國(guó)俄勒岡州希爾斯伯勒附近的工廠內(nèi)安裝了。
這臺(tái)型號(hào)為Twinscan EXE:5000的光刻機(jī)著實(shí)是個(gè)龐然大物,運(yùn)輸過程中動(dòng)用了250個(gè)貨箱,總重約150噸,先用飛機(jī)從荷蘭運(yùn)到俄勒岡州波特蘭,再用卡車分批次拉到工廠。
目前安裝的還只是核心組件,全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程師,耗時(shí)約6個(gè)月,然后還得花時(shí)間調(diào)試。

這臺(tái)光刻機(jī)主要作為研究之用,將會(huì)在Intel 18A節(jié)點(diǎn)上進(jìn)行測(cè)試,但大規(guī)模量產(chǎn)得等到剛剛宣布的Intel 14A節(jié)點(diǎn)上,時(shí)間預(yù)計(jì)2025-2026年左右 。
該光刻機(jī)可以實(shí)現(xiàn)8nm的分辨率,而現(xiàn)有低NA光刻機(jī)單次曝光只能做到13nm,同時(shí)晶體管密度幾乎可以增加3倍。
大家非常關(guān)心的價(jià)格上,ASML的說法是大約3.8億美元,但這只是起步價(jià),更高配置自然更貴,Intel CEO帕特·基透露在4億美元左右,也就是逼近29億元。
相比之下,低NA EUV光刻機(jī)約為1.83億美元。
除了Intel,三星、臺(tái)積電、SK海力士也都訂購(gòu)了高NA EUV光刻機(jī),訂單有數(shù)十臺(tái)。








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