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更新時間：2023-04-12 07:42:26瀏覽次數(shù)：156次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)Gasonics等離子刻蝕系統(tǒng)L3510設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體晶圓的灰化和清洗
Gasonics等離子刻蝕系統(tǒng)L3510設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體晶圓的灰化和清洗。Gasonics等離子刻蝕系統(tǒng)L3510 通過產(chǎn)生單原子氧（一種活性物質(zhì)）來做到這一點(diǎn)，它與晶圓表面的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
Gasonics等離子刻蝕系統(tǒng)L3510系統(tǒng)由兩個主要部分組成：
(1)工藝子系統(tǒng) 工藝子系統(tǒng)包括控制器、微波發(fā)生器、氣流控制、卡式平臺和機(jī)器人總成。
(2)真空泵 真空泵通常安裝在與主系統(tǒng)隔開的相鄰機(jī)房內(nèi)。泵應(yīng)保持連續(xù)運(yùn)行。
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