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當(dāng)前位置:大邁儀器(上海)有限公司>>光學(xué)儀器>>顯微鏡>> OLS3000 OLYMPUS 激光掃描共焦顯微鏡 OLS3000

OLYMPUS 激光掃描共焦顯微鏡 OLS3000

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號OLS3000

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更新時間:2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù):3757次

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● 世界zui高的分辨率、高精度、XY分辨率可達(dá)0.12微米 ●3D成像,高精度測量,Z軸zui小讀數(shù)精度0.01微米?!駥崟r像的獲得和測量同時。 ●408nm激光采用

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● 世界zui高的分辨率、高精度、XY分辨率可達(dá)0.12微米

●3D成像,高精度測量,Z軸zui小讀數(shù)精度0.01微米。

●實時像的獲得和測量同時。

●408nm激光采用

激光掃描共焦顯微鏡OLS3000可進(jìn)行如下檢測:
1)測量
  • 2D測量:*測量范圍1.5mm~1 μm;
    不僅是線寬度,也能進(jìn)行圓的直徑等幾何測量。
  • 3D測量:*測量范圍1mm~0.5 μm;
    體積、容積、表面積等3D測量;可測量透明膜厚度。
  • 粗糙度分析:于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析;
    不公是線粗糙度,面粗糙度也能檢測。
  • 2)3D形貌
  • 能獲得3D色彩等多種多樣的信息
  • 等高線顯示、網(wǎng)格狀顯示等方式體現(xiàn)3D信息。
  • 利用微分干涉可識別表面的更加細(xì)微的凹凸信息。
  • 3)高分辨率觀察
  • 顯示器倍率為14,400倍。接近SEM的放大率。
  • 接近SEM的高對比度的解像度。
  • 可以分辨常規(guī)顯微鏡所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
  • 利用微分干涉進(jìn)一步提高分辨率。
  • 實時觀察。
  • zui大觀察范圍是2,560X2,560μm
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