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當前位置：大邁儀器（上海）有限公司>>光學儀器>>顯微鏡>> AL110/MX61 OLYMPUS奧林巴斯 自動晶圓搬送機/半導體檢查顯微鏡 AL110/MX61

OLYMPUS奧林巴斯 自動晶圓搬送機/半導體檢查顯微鏡 AL110/MX61

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號AL110/MX61

品       牌

廠商性質經銷商

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聯(lián)系方式：吳衛(wèi)平查看聯(lián)系方式

更新時間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù)：2425次

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OLYMPUS AL110/MX61 產品特性 ● 用于100mm/125mm/150mm晶圓傳送及檢查(ALL110-6)● 用于200mm晶圓傳送及檢查,200/150mm晶圓交替檢查可能(AL110-8)● 非接觸式對中方式,潔凈度提高,減少晶圓污染的可能性● 靈活的程式設計,zui短的搬送時間*的提高了生產效率● AL110-12 3--VMM 晶圓自動搬送機臺(NEW)

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OLYMPUS AL110規(guī)格：
型號200mm型200/150mm
兼容型		100/125/150mm
兼容型
項目LLMLBMBLMBLLMLBMBLMBLLMLMB
晶圓直徑200晶圓邊
200mm切口		√√ 
150mm晶圓平邊 √ 
100/125/150mm
晶圓平邊		  √
觀察方式連續(xù)和采樣√
轉換方式正面宏觀檢測√√√ √√√√ √√√√
背面宏觀檢測 √ √√ √ √√ √√
2次背面檢測  √√√  √√√  √
表面顯微觀測  √√√  √√√  √
適用顯微鏡MX61/MX61L型√
規(guī)格(mm)580(W)＊580(D)＊297(H)490(W)＊520(D)＊297(H)
重量(kg)30323131333032313133262830
能耗電源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空壓力：-67kPa～-80kPa

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