水下能譜儀是一種分析物質(zhì)元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線，根據(jù)特征x射線的波長，定性與半定量分析元素周期表中B－U的元素，EDS可提供樣品表面之微區(qū)定性或半定量之成份元素分析，以及特定區(qū)域之point、linescan、mapping分析。

 

　　水下能譜儀能夠分析原子序數(shù)大于5的元素，波譜儀可以分析原子序數(shù)從4～92之間的所有元素；EDS的分析方式有點分析、線分析和面分析；點分析得到一點的所有元素；線分析每次對的一條線做一種元素分析，多次掃描得到所有元素的線分布；面分析對一個面內(nèi)的所有元素分析，測得元素含量是測量面范圍的平均值。

 

　　EDS在測試輕元素（C、O、N等）時，由于這些元素的能量較低，有時很難檢測到，可以通過增加采集時間、降低加速電壓（元素臨界激發(fā)能2～3倍）并使用大孔徑光闌。

 

　　電子能譜儀一般由真空系統(tǒng)、激發(fā)源（X射線光源、UV光源、電子槍）、電子能量分析器、檢測器和數(shù)據(jù)系統(tǒng)，以及其他附件等構(gòu)成。能量分析器用于在滿足一定能量分辨率，角分辨率和靈敏度的要求下，析出某能量范圍的電子，測量樣品表面出射的電子能量分布。

 

　　由于電子能譜檢測的電子流非常弱，現(xiàn)在一般采用電子倍增器來測量電子的數(shù)目。電子倍增器主要有單通道電子倍增器和多通道檢測器兩種類型。電子能譜分析涉及大量復(fù)雜的數(shù)據(jù)的采集、儲存、分析和處理，數(shù)據(jù)系統(tǒng)由在線實時計算機(jī)和相應(yīng)軟件組成，它已成為現(xiàn)代電子能譜儀的一個基本部分。