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CVD系統(tǒng)O1200-XIITD2F

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更新時(shí)間：2025-07-28 09:40:24瀏覽次數(shù)：166次

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河南諾巴迪材料科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域；

詳細(xì)介紹

設(shè)備簡(jiǎn)介：

配置詳情

	NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，非線性式樣溫度修正；
產(chǎn)品型號(hào)	NBD-O1200-XIIT（爐管直徑50、60、80、100mm可選）
工作溫度	≤1150℃
加熱區(qū)尺寸	200mm+200mm（雙溫雙控）
升溫速率	≤20℃/min
電氣規(guī)格	AC 220V 4KW
氣體系統(tǒng)（可選購(gòu)）	流量計(jì)類(lèi)型	浮子流量計(jì)				質(zhì)量流量計(jì)
	管道示意圖
	進(jìn)氣接口數(shù)量	2、3、4（多路可選）
	流量范圍	20-250/20-800ml/min(多量程可選)				50/100/200sccm(多量程可選)
	工作壓差范圍	0-0.15MPa
低真空系統(tǒng)（可選購(gòu)）	真空泵型號(hào)		NBD-1.5C		NBD-3C		NBD-4C
	抽氣速率		1L/s		3L/s		4L/s
	進(jìn)排氣口尺寸		Φ8mm寶塔接頭		Φ8mm寶塔接頭		KF16/25
	極限壓力		1000Pa		100Pa		10Pa
	工作溫度		5-40℃
	電氣規(guī)格		AC220V
高真空系統(tǒng)（可選購(gòu)）	真空泵型號(hào)		NBD-103(A)		NBD-103(B)		NBD-103(C)
	抽氣速率		110L/s		600L/s		700L/s
	真空測(cè)量計(jì)		復(fù)合真空計(jì)
	極限壓力		10^-3Pa		10^-4Pa		10^-5Pa
	工作溫度			5-40℃
	電氣規(guī)格			AC 220V	AC 220V			AC 380V
* 支持非標(biāo)定做，更多型號(hào)，歡迎來(lái)電垂詢

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