當前位置：河南諾巴迪材料科技有限公司>>PECVD等離子體系統(tǒng)>>高功率PECVD系統(tǒng)（旋轉(zhuǎn)擺振）

高功率PECVD系統(tǒng)（旋轉(zhuǎn)擺振）

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地鄭州市

在線詢價收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：張帥鋒查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-07-28 14:29:03瀏覽次數(shù)：242次

聯(lián)系我時，請告知來自儀表網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  PECVD等離子體系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

河南諾巴迪材料科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：272條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：張帥鋒（銷售經(jīng)理）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

高功率PECVD系統(tǒng)（旋轉(zhuǎn)擺振）

詳細介紹

設(shè)備簡介：

旋轉(zhuǎn)擺振PECVD系統(tǒng)適用于粉體材料的表面薄膜沉積。系統(tǒng)由高功率射頻電源（500W，13.56MHz）、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)擺振系統(tǒng)組成，采用NBD-101EP集中總線控制技術(shù)的諾巴迪操作軟件。利用等離子體特性來控制或影響氣相反應(yīng)和材料表面的化學(xué)反應(yīng)過程，并在適當?shù)臏囟认鲁练e薄膜。PECVD淀積的薄膜具有優(yōu)良的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及的臺階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點使其在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。

配置詳情

	主要特點： 1、射頻電源輸出功率：500W（連續(xù)可調(diào)），反射功率 70W； 2、出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！ 3、異形高純石英爐管，大容量反應(yīng)空間； 4、的旋轉(zhuǎn)（60檔精調(diào)設(shè)計）擺振結(jié)構(gòu)，保證物料與等離子體的充分接觸； 5、三路高精度質(zhì)量流量計（可依要求定制），集成混氣系統(tǒng)； 6、進出料設(shè)計，保證設(shè)備在結(jié)構(gòu)復(fù)雜狀態(tài)下的便捷進出料； 7、射頻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)擺振系統(tǒng)全面集成于一體，7英寸全觸屏操作，操作便捷、直觀； 8、可保存六組工藝參數(shù)，隨時調(diào)取； 9、實驗數(shù)據(jù)可自動截圖，并支持USB接口導(dǎo)出。
電氣規(guī)格	AC220V 1.5千瓦
設(shè)備尺寸	W1300mm×H1250mm×D760mm；
反應(yīng)腔室	Φ120*L300mm（可定制，管內(nèi)焊接三組攪拌擋板），非射頻區(qū)管徑：φ60mm；
翻轉(zhuǎn)速度	0.1～6轉(zhuǎn)/min（無極調(diào)速）；
翻轉(zhuǎn)傾角	-3°～+3° 傾倒角度30°
反應(yīng)腔壓力	5~80pa
法蘭結(jié)構(gòu)	航空鋁快開模式；
操作系統(tǒng)	NBD-101EP集中總線控制集成系統(tǒng)，7"真彩觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機對話模式；
電動推桿功率	50W
RF 電源	輸出功率10～500W 任意連續(xù)可調(diào)，射頻頻率: 13.56MHz ±0.005% ，全自動匹配；
真空測試	數(shù)字真空計獲取裝置；
真空獲取	NBD-4C機械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m3/h；
供氣系統(tǒng)	質(zhì)量流量控制器（量程及標定可定制）精度：±1%F.S；響應(yīng)時間：1-4秒；
設(shè)備細節(jié)
部分界面
凈重	約320KG
設(shè)備使用注意事項	1. 射頻匹配器一般處于自動匹配狀態(tài)，一般功率需達到50W以上才能匹配； 2. 若采用手動匹配，將功率設(shè)到60W左右，手動調(diào)諧匹配合適時，再增加功率 3. 工作時，需改變腔體的氣流量，先要要把功率設(shè)置為零，不能直接按“OFF"按鍵關(guān)閉射頻輸出。
服務(wù)支持	一年有限保修，提供終身支持；

免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r，或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異，請與本公司客服人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，諾巴迪公司不定期*和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。

相關(guān)產(chǎn)品