軟電暈預(yù)電離

高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器

激光頭體積<3l

TMC（全金屬陶瓷）容器

集成真空泵和鹵素過濾器

風(fēng)冷/可選液冷，主動熱管理

RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成

可沖洗光學(xué)支架

能量穩(wěn)定模式

新一代緊湊型風(fēng)冷，高重復(fù)頻率的準(zhǔn)分子激光器，專為中低占空比應(yīng)用而設(shè)計。

參數(shù)：

氣體介質(zhì) F2 ArF KrF XeCl XeF

波長 nm 157 193 248 308 351

高壓開關(guān)技術(shù) 固態(tài)開關(guān)

重復(fù)率max. Hz 1 10 15 8 7

脈沖能量max. mJ 0.5 4.0 6.5 3.0 2.5

平均功率max. W 500

脈沖持續(xù)時間 ns 5-8

光束尺寸（V x H） mm 4 x 6

光束發(fā)散角（V x H）mrad 1 x 2

能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）% < 3

尺寸（長x寬x高）mm 540 x 470 x 370

重量 kg 60

冷卻 冷卻空氣/可選液體

電源要求 230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz