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天津瑞利光電科技有限公司

德國NUMERIK JENA增量式直線光柵尺 原理介紹

時間:2021-3-16閱讀:216

產(chǎn)品詳情:

增量式直線光柵尺LIK 41

敞開式直線光柵尺由讀數(shù)頭和光柵尺帶組成。

該測量系統(tǒng)擁有以下主要特點:

-用戶的滑座系統(tǒng)控制讀數(shù)頭與光柵尺帶間的方向

-讀數(shù)頭非接觸地光電掃描光柵尺帶,因此滑座系統(tǒng)無機械反作用力的作用

-編碼器結構緊湊,尺寸小

-高運動速度,高達10 m/s

-讀數(shù)頭內或接頭內的信號細分倍率達100

-高分辨率(測量步距達50 nm

-光柵尺帶精度高達±1 µm

-高細分精度,帶在線補償功能,擁有優(yōu)異的抗污性能(動態(tài)偏移和幅值控制)

-允許較大的安裝公差

-一個增量步距精度的參考信號,且與參考點掃描方向無關

 

典型應用:

-半導體行業(yè)的生產(chǎn)和檢測設備

-精 加工

-直線設備、驅動系統(tǒng)和坐標工作臺

-測量機和測量顯微鏡

-醫(yī)療器械的定位和測量系統(tǒng)

-機器人

 

LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應用。LIK 41是該系列的min產(chǎn)品,特別配單場讀數(shù)頭,max限度減小外殼尺寸。

-LIK 41EPIFLEX讀數(shù)模塊(單場掃描)

-超小型尺寸

-個性化的配置

-1 VppRS 422輸出信號

-多達100倍的細分信號

-min測量步距僅50 nm

-運動速度達10 m/s1 Vpp

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