產(chǎn)品詳情:
增量式直線光柵尺LIK 41
敞開式直線光柵尺由讀數(shù)頭和光柵尺帶組成。
該測量系統(tǒng)擁有以下主要特點:
-用戶的滑座系統(tǒng)控制讀數(shù)頭與光柵尺帶間的方向
-讀數(shù)頭非接觸地光電掃描光柵尺帶,因此滑座系統(tǒng)無機械反作用力的作用
-編碼器結構緊湊,尺寸小
-高運動速度,高達10 m/s
-讀數(shù)頭內或接頭內的信號細分倍率達100倍
-高分辨率(測量步距達50 nm)
-光柵尺帶精度高達±1 µm
-高細分精度,帶在線補償功能,擁有優(yōu)異的抗污性能(動態(tài)偏移和幅值控制)
-允許較大的安裝公差
-一個增量步距精度的參考信號,且與參考點掃描方向無關
典型應用:
-半導體行業(yè)的生產(chǎn)和檢測設備
-精 加工
-直線設備、驅動系統(tǒng)和坐標工作臺
-測量機和測量顯微鏡
-醫(yī)療器械的定位和測量系統(tǒng)
-機器人
LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應用。LIK 41是該系列的min產(chǎn)品,特別配單場讀數(shù)頭,max限度減小外殼尺寸。
-LIK 41帶EPIFLEX讀數(shù)模塊(單場掃描)
-超小型尺寸
-個性化的配置
-1 Vpp或RS 422輸出信號
-多達100倍的細分信號
-min測量步距僅50 nm
-運動速度達10 m/s(1 Vpp)
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