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產(chǎn)品型號：ATLEX-500-I
關(guān)鍵字：ATL Lasertechnik準(zhǔn)分子激光器ATLEX-500-I
關(guān)鍵字描述：ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比應(yīng)用而設(shè)計。
產(chǎn)品介紹：
軟電暈預(yù)電離
高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器
激光頭體積<3l
TMC（全金屬陶瓷）容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風(fēng)冷/可選液冷，主動熱管理
RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成
可沖洗光學(xué)支架
能量穩(wěn)定模式
新一代緊湊型風(fēng)冷，高重復(fù)頻率的準(zhǔn)分子激光器，專為中低占空比應(yīng)用而設(shè)計。
參數(shù)：
氣體介質(zhì) | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF |
波長 nm | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | ||||
重復(fù)率max. Hz | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 |
脈沖能量max. mJ | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 |
平均功率max. W | 500 | ||||
脈沖持續(xù)時間 ns | 5-8 | ||||
光束尺寸（V x H） mm | 4 x 6 | ||||
光束發(fā)散角（V x H）mrad | 1 x 2 | ||||
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）% | < 3 | ||||
尺寸（長x寬x高）mm | 540 x 470 x 370 | ||||
重量 kg | 60 | ||||
冷卻 | 冷卻空氣/可選液體 | ||||
電源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz | ||||
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