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天津瑞利光電科技有限公司

美國Aerotech振鏡AGV14SPO-原理介紹

時間:2022-5-10閱讀:568

產(chǎn)品型號:AGV14SPO

關(guān)鍵字:AEROTECH振鏡AGV14SPO

關(guān)鍵字描述:

產(chǎn)品介紹:

比傳統(tǒng)的2D掃描儀更大的視野簡化了對較大零件的處理

在整個視場中將光斑失真降至更低,從而將高質(zhì)量的激光加工零件的加工偏差降至更低

空氣和水冷卻選項(xiàng)提供熱穩(wěn)定性并提高長期精度

適用于各種激光波長的多種鏡面處理選擇

Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計(jì)掃描儀提供了傳統(tǒng)兩鏡振鏡掃描儀的替代產(chǎn)品。 AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀,可為關(guān)鍵的激光微加工應(yīng)用提供更大的視野并減少點(diǎn)畸變。

大視野,光斑失真更小

*的光學(xué)設(shè)計(jì)可有效控制光束入射光瞳,使其與X和Y掃描儀運(yùn)動保持一致,從而增加了掃描儀系統(tǒng)的有效數(shù)值孔徑。這種設(shè)計(jì)直接為給定的焦距提供了更大的視野,并減少了整個工作區(qū)域上的光斑失真。這些優(yōu)勢意味著AGV-SPO能夠更快,更一致地處理大型零件。

設(shè)計(jì)配置

AGV-SPO可提供多種光學(xué)涂層和聚焦光學(xué)器件,以支持各種常用的激光波長和焦距。為了滿足其他需求,Aerotech可以根據(jù)要求為AGV-SPO提供定制的光學(xué)元件和光學(xué)安裝功能。AGV-SPO可以配置有風(fēng)冷鏡,水冷電機(jī)或兩者。這些主動冷卻功能有助于在存在由激光引起的熱干擾以及劇烈運(yùn)動的情況下,保持工作平面的準(zhǔn)確性。

編程功能

AGV-SPO利用了Aerotech的所有運(yùn)動和位置同步輸出(PSO)功能,這些功能是針對具有傳統(tǒng)振鏡和伺服平臺的激光加工應(yīng)用開發(fā)的。諸如“加速限制"之類的輪廓功能可用于自動降低急轉(zhuǎn)彎或小半徑時的速度,以大程度地減小過沖??梢曰趲в蠵SO的反射鏡的位置反饋來觸發(fā)激光,以確保在掃描儀改變速度時始終保持一致的光斑重疊。Aerotech的無限視場(IFOV)功能無縫地結(jié)合了伺服和掃描儀的運(yùn)動,從而在整個伺服平臺的整個行程范圍內(nèi)擴(kuò)展了掃描儀的標(biāo)記功能,從而消除了在更傳統(tǒng)的移動重復(fù)曝光過程中可能發(fā)生的縫合錯誤。

參數(shù):

光束孔徑:14 mm

掃描角度:max.±20°

光束位移:35 mm

抖動(增量運(yùn)動min.):0.3 µradRMS

精度:50 µrad pk-pk

重復(fù)性:0.6 µradRMS

增益誤差:0.05 mrad

非線性:0.005%

跟蹤誤差:0 µsec

峰值加速度:60,000 m/s2

連續(xù)加速:20,000 m/s2

定位速度:50 m/s

處理速度:5 m/s5

跳躍和穩(wěn)定時間,移動1 mm:700 µsec

穩(wěn)定性

長期漂移

偏移:10 µrad/12 hrs

15 µrad/24 hrs

增益:10 ppm/24 hrs

熱漂移

偏移:20 µrad/°C

增益:1 ppm/°C

材料:鋁(黑色陽極氧化和藍(lán)色噴漆)

MTBF(平均*時間):20,000

重量:5.1 kg


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