MUEGGE等離子元件
天津瑞利光電科技有限公司經(jīng)銷MUEGGE等離子元件。
MUEGGE 等離子元件 MUEGGE 等離子元件
產(chǎn)品詳情：
等離子元件MW2009D-260ED
描述：
雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個源以及2個，4個和8個平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理，如表面活化，蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場的直接微波等離子體源。在簡化的描述中，它類似于由微波激發(fā)的反向發(fā)光管，雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個磁控管產(chǎn)生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態(tài)下放電點火，隨著微波功率的增加，等離子體從沿著管的兩端增長，并且形成軸向均勻的等離子體。
特征：
-低壓微波等離子體源
-可擴展和緊湊的設計
-大面積應用
-高等離子體密度
-高效率
-低傷害
-輕松適應定制系統(tǒng)
參數(shù)：
-頻率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz
-HF-輸入功率：典型2 kW / m @ 1 mbar
-波導：同軸8/26
-過程壓力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
-等離子體密度：在2450MHz時高達1012 / cm3
-典型的過程氣體：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO
-電子溫度：~2eV
-同質(zhì)性：優(yōu)于5％
材料：
-腔室：鋁
-氣體噴淋：鋁
-等離子體源：石英，AL2O3
-冷卻：水/空氣合并
連接器：
-同軸8/26（微波）
-接頭套管（水，空氣，氣體）
-尺寸：客戶特定
-MW電源元件
品牌介紹：
德國MUEGGE GmbH是在工業(yè)微波技術領域的供應商。其組合包括微波發(fā)生器和部件，包括相應的供電技術，用于各種應用，例如工業(yè)微波加熱，尤其是等離子技術。由MUEGGE生產(chǎn)的微波系統(tǒng)用于等離子體工業(yè)、半導體和平板的應用程序。MUEGGE公司擁有25年工業(yè)微波產(chǎn)品的生產(chǎn)制造經(jīng)驗，始終為用戶提供新的 技術及產(chǎn)品，其提供的微波電源、發(fā)生器全部由微電腦控制，可實現(xiàn)任何接口的通訊對接。
瑞利光電擁有一支年輕的團隊，相關人員知識經(jīng)驗豐富，熟悉貨幣度量衡，商業(yè)習慣，貨物運輸與保險等政策，在處理貿(mào)易接洽等問題上，能夠采用合理的處理方式，根據(jù)國內(nèi)外相關法律法規(guī)、市場競爭現(xiàn)狀和發(fā)展態(tài)勢來服務客戶。
天津瑞利光電科技有限公司是一家集研發(fā)、工程、銷售、技術服務于一體的現(xiàn)代化企業(yè)，是國內(nèi)自動化領域有競爭力的設備供應商。公司主要經(jīng)營歐美和日韓 等國的機電一體化設備、高精度分析檢測儀器、環(huán)境與新能源工業(yè)設備及電動工具等工控自動化產(chǎn)品。
