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MUEGGE等離子元件MW2009D
天津瑞利光電科技有限公司經(jīng)銷MUEGGE等離子元件。
產(chǎn)品詳情：
等離子元件MW2009D-260ED
描述：
雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個源以及2個，4個和8個平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理，如表面活化，蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場的直接微波等離子體源。在簡化的描述中，它類似于由微波激發(fā)的反向發(fā)光管，雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個磁控管產(chǎn)生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態(tài)下放電點(diǎn)火，隨著微波功率的增加，等離子體從沿著管的兩端增長，并且形成軸向均勻的等離子體。
特征：
-低壓微波等離子體源
-可擴(kuò)展和緊湊的設(shè)計(jì)
-大面積應(yīng)用
-高等離子體密度
-高效率
-低傷害
-輕松適應(yīng)定制系統(tǒng)
參數(shù)：
-頻率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz
-HF-輸入功率：典型2 kW / m @ 1 mbar
-波導(dǎo)：同軸8/26
-過程壓力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
-等離子體密度：在2450MHz時高達(dá)1012 / cm3
材料：
-腔室：鋁
-氣體噴淋：鋁
-等離子體源：石英，AL2O3
-冷卻：水/空氣合并
天津瑞利光電科技有限公司是一家集研發(fā)、工程、銷售、技術(shù)服務(wù)于一體的現(xiàn)代化企業(yè)，是國內(nèi)自動化領(lǐng)域有競爭力的設(shè)備供應(yīng)商。公司主要經(jīng)營歐美和日韓 等國的機(jī)電一體化設(shè)備、高精度分析檢測儀器、環(huán)境與新能源工業(yè)設(shè)備及電動工具等工控自動化產(chǎn)品。 憑借成熟的技術(shù)與商務(wù)團(tuán)隊(duì)， 公司在為客戶帶來 產(chǎn)品的同時還可提供自動化工程技術(shù)服務(wù)及成套解決方案。
