天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器-SIT-200
日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器-SIT-200
產(chǎn)品介紹
用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器
高動態(tài)范圍，能夠測量混亂的表面
能夠在濕蝕刻過程中進(jìn)行原位測量
SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器（而不是寬帶光源）來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進(jìn)行更高功率的測量，從而實現(xiàn)高動態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上，例如在濕蝕刻期間/之后，也可以進(jìn)行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由準(zhǔn)確調(diào)諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。波長掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過傳感器后，PD會檢測到從目標(biāo)表面反射回來的干涉圖樣。
產(chǎn)品參數(shù)
測量對象：硅片
可測厚度：10~500（n = 3.5）μm
光源：波長掃描激光源
（1515~1585）nm
光輸出功率：0.6，激光等級1 mW
引導(dǎo)光源：紅色LD，激光等級1M
測量時間：min.20 ms
重復(fù)性：小于0.1（3σ）μm
監(jiān)控輸出：干擾信號（電氣）
PC接口：以太網(wǎng)
電源：AC 100-240（50/60 Hz）V
尺寸（寬x高x深）：364 x 147 x 391 mm
天津瑞利光電創(chuàng)立以來一直秉承'以誠興業(yè)，共存共榮'的經(jīng)營理念，視客戶與伙伴為摯友，視員工為公司的寶貴財富，團(tuán)結(jié)一致，開拓創(chuàng)新，勇于打破行業(yè)發(fā)展瓶頸，逐步構(gòu)建并擴(kuò)大公司在自動化領(lǐng)域的一體化供銷網(wǎng)絡(luò)與服務(wù)中心。'整合行業(yè) 資源，力爭行業(yè)好口碑，勇做行業(yè)發(fā)展引擎'將是瑞利人永遠(yuǎn)的追求，我們愿與更多的用戶和國內(nèi)外 品牌供應(yīng)商攜手并進(jìn)，一起為國內(nèi)工業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量，共同發(fā)展，共同繁榮。
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