天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200
日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200
產(chǎn)品介紹
用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器
高動態(tài)范圍，能夠測量混亂的表面
能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量
SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器（而不是寬帶光源）來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進行更高功率的測量，從而實現(xiàn)高動態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上，例如在濕蝕刻期間/之后，也可以進行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由準確調(diào)諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。波長掃描光聚焦在目標上，并且在通過傳感器后，PD會檢測到從目標表面反射回來的干涉圖樣。
產(chǎn)品參數(shù)
測量對象：硅片
可測厚度：10~500（n = 3.5）μm
光源：波長掃描激光源
（1515~1585）nm
光輸出功率：0.6，激光等級1 mW
引導(dǎo)光源：紅色LD，激光等級1M
測量時間：min.20 ms
重復(fù)性：小于0.1（3σ）μm
監(jiān)控輸出：干擾信號（電氣）
PC接口：以太網(wǎng)
天津瑞利光電科技有限公司是一家集研發(fā)、工程、銷售、技術(shù)服務(wù)于一體的現(xiàn)代化企業(yè)，是國內(nèi)自動化領(lǐng)域有競爭力的設(shè)備供應(yīng)商。公司主要經(jīng)營歐美和日韓 等國的機電一體化設(shè)備、高精度分析檢測儀器、環(huán)境與新能源工業(yè)設(shè)備及電動工具等工控自動化產(chǎn)品。 憑借成熟的技術(shù)與商務(wù)團隊， 公司在為客戶帶來 產(chǎn)品的同時還可提供自動化工程技術(shù)服務(wù)及成套解決方案。
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