TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型應(yīng)用- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室- 粒子加速器- 科研- 鍍膜系統(tǒng)技術(shù)特點(diǎn)- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控- 噪聲和振動(dòng)低- 任意方向安裝- *的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高......

詳細(xì)介紹

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型應(yīng)用

- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝

- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)

技術(shù)特點(diǎn)

- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動(dòng)低

- 任意方向安裝

- *的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級(jí)耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護(hù)

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級(jí)耐壓高

- 同類中重量較輕，尺寸較小

- 耐粉塵

- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

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技術(shù)特點(diǎn)

- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動(dòng)低

- 任意方向安裝

- *的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級(jí)耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護(hù)

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級(jí)耐壓高

- 同類中重量輕，尺寸小

- 耐粉塵

- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

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典型應(yīng)用

- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝

- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)

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技術(shù)參數(shù)		TURBOVAC MAG
		W 2200 C/CT				W 2200
進(jìn)氣口		DN	200 ISO-F	250 ISO-F			250 CF
PNEUROP的抽速氮?dú)?氬氣氦氣氫氣		I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1
額定轉(zhuǎn)速		min-1	29 400	29 400			29 400
壓縮比氮?dú)?/span>			> 1 x 108	> 1 x 108			1 x 108
極限壓強(qiáng)，根據(jù) DIN 28 400		mbar (Torr)	< 10-8 (< 0 75 x 10-8)	< 10-8 (< 0 75 x 10-8)	< 1 x 10-10 (< 0 75 x 10-10)
前級(jí)耐壓（對(duì)氮?dú)猓?duì)流冷卻時(shí) 水冷卻時(shí)		mbar (Torr)mbar (Torr)	– 2 (1 5)	– 2 (1 5)	0 1 (0 075) 1 (0 75)
推薦的前級(jí)泵抽速達(dá)100m3/h的旋片泵或干泵			TRIVAC D 65 BCS	TRIVAC D 65 BCS	TRIVAC D 65 BCS
啟動(dòng)時(shí)間達(dá)95%名義轉(zhuǎn)度時(shí)	min		< 8	< 8	< 8
出氣口外形尺寸	DN		40 ISO-KF	40 ISO-KF	40 ISO-KF
吹掃和破空口			1/4" VCR	1/4" VCR	DN 10/16
冷卻水接口（管道外徑）			1/2"	1/2"	Swagelok管1/4"
重量（近似）	kg (lbs)		48 (106)	48 (106)	60 (132)