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真空度測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)及原理

時(shí)間:2020/4/17閱讀:281
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測(cè)試原理 

將滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的開(kāi)距,施加脈沖高壓,將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng),這樣在脈沖磁場(chǎng)的作用下,滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,當(dāng)測(cè)知離子電流后,通過(guò)離子電流一真空度曲線,由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成真空度的計(jì)算,并顯示真空度值。


◆漏電電流的處理

對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí),會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性,并且在數(shù)值上與10-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。

◆內(nèi)置多條真空滅弧室的測(cè)量曲線

真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí),其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測(cè)量,對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專家通過(guò)與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,取得了很多真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過(guò)數(shù)學(xué)處理,將其特征參數(shù)送入產(chǎn)品。因此,產(chǎn)品內(nèi)置了很多真空滅弧室的測(cè)量曲線。

◆*的輸入保護(hù)電路

當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí),測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至信號(hào)輸入端的采樣電路上,使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。信號(hào)輸入端的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路,即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時(shí)工作不正常時(shí)(重新開(kāi)機(jī)即可),也不會(huì)造成電路部分的損壞。


技術(shù)參數(shù):

1. 真空度測(cè)量范圍: 1×10-1~1×10-5
2. 測(cè) 量 誤 差: <10%
3. 測(cè) 量 分 辨 率: 10-5pa
4. 允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃
5. 空 氣 濕 度: ≤80%RH
6. 電 源: AC,220V,50Hz±10%
7. 外 型 尺 寸: 420×290×210(mm)
8. 重 量: 8kg

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