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真空鍍膜行業(yè)氬氣流量大小如何控制

閱讀:406發(fā)布時間:2021-12-17

熱式氣體質(zhì)量流量控制器(MFC),里面有個溫度傳感器和速度傳感器,流量大小通過高性能比例電磁閥,通過0-5V電壓調(diào)節(jié)閥芯開度大小或頻率來精確控制介質(zhì)的流量大小.



通過真空鍍膜行業(yè)的一些客戶了解到 ,一般使用的都是微小流量的MFC,集中在100SCCM/MIN 500SCCM/MIN 1000SCCM/MIN



進口壓力:1Mpa 正常工作壓力:0.5Mpa MFC不受氣體的溫度和壓力影響它的精度和重復(fù)性精度,響應(yīng)時間快1秒達到設(shè)定值



一般MFC都是以氮氣標定的,如客戶需要的是測量Ar流量,出廠時,廠家就按氬氣標定好,也可提供氬氣和氮氣之間換算的比列系數(shù)

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