在諸如硅傳感制造、消費(fèi)電子制造等半導(dǎo)體行業(yè)的儀器開發(fā)和生產(chǎn)中對壓力測量和控制儀器儀表都有著高精度和高可靠性的要求,這就對半導(dǎo)體行業(yè)的壓力校準(zhǔn)設(shè)備,如壓力控制器、壓力校驗(yàn)臺、壓力傳感器標(biāo)定設(shè)備等提出了更高的要求。

CPC3050型威卡壓力控制器內(nèi)部配備兩個(gè)參考傳感器和一個(gè)氣壓基準(zhǔn),可提供廣泛的壓力控制范圍,并模擬絕壓或表壓類型。并使用專為高速壓力控制而設(shè)計(jì)的調(diào)壓器技術(shù),非常適合半導(dǎo)體行業(yè)的自動化生產(chǎn)和生產(chǎn)線的生產(chǎn)線末端測試。除了高速之外,0.02 % FS 精度還為專為半導(dǎo)體行業(yè)的儀器開發(fā)和生產(chǎn)的眾多儀器提供了足夠的校準(zhǔn)要求。

HSIN6800全自動壓力傳感器校驗(yàn)臺采用全智能壓力控制,主要由威卡壓力控制器、智能氣路控制器和氣體增壓裝置組成,雙通道可獨(dú)立使用,互不影響,可內(nèi)置8個(gè)量程段,內(nèi)置0.001%的大氣參考,實(shí)現(xiàn)表壓和絕壓的自由切換。校驗(yàn)臺能實(shí)現(xiàn)一次性全自動校驗(yàn)多支壓力傳感器,避免外界因素的干擾,準(zhǔn)確性高,還能夠?yàn)閴毫鞲衅魈峁┖愣ǖ膲毫?,保證壓力傳感器感應(yīng)到的信號為壓力信號,精度高,是保證制半導(dǎo)體行業(yè)壓力傳感器量值溯源準(zhǔn)確性的理想校準(zhǔn)設(shè)備。
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