隨著人民對大氣污染防的重視,我國的空氣環(huán)境監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)不斷*,許多地區(qū)已開始建設(shè)環(huán)境空氣質(zhì)量監(jiān)測站。空氣質(zhì)量監(jiān)測站的主要功能是對空氣中的常規(guī)污染因子和氣象參數(shù)進(jìn)行24小時連續(xù)在線監(jiān)測。其中,大氣壓力監(jiān)測系統(tǒng)就需要用到MEMS壓力傳感器,可以根將測量到的壓力信息轉(zhuǎn)換成視覺信號輸出,壓力傳感器標(biāo)定系統(tǒng)可保證MEMS壓力傳感器得我量值溯源準(zhǔn)確性,有助于準(zhǔn)確和全面的監(jiān)測空氣質(zhì)量。
MEMS壓力傳感器在投入使用前,一般需用壓力傳感器標(biāo)定系統(tǒng)對其進(jìn)行測試與標(biāo)定。通過測試標(biāo)定可以獲得MEMS壓力傳感器的誤差參數(shù),從而對其進(jìn)行補(bǔ)償校準(zhǔn),以提高應(yīng)用精度。人工標(biāo)定的方法耗時長、效率低且易出錯,僅針對單個的傳感器自動測試方案無法達(dá)到批量化的目的。
北京恒升偉業(yè)科技有限公司HSIN6800壓力傳感器自動標(biāo)定系統(tǒng)的研制成功,使MEMS壓力傳感器的標(biāo)定工作實現(xiàn)了的自動化,該系統(tǒng)僅需要工作人員輸入必要的參數(shù),其余由計算機(jī)控制運(yùn)行,一次可以同時標(biāo)定同壓力范圍的1~350個芯片式壓力傳感器。
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