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與傳統(tǒng)的傳感器相比,MEMS壓力芯片傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)等特點(diǎn)。因此,針對(duì)體積小和批量化的特點(diǎn),在使用壓力傳感器標(biāo)定系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)與傳統(tǒng)傳感器有很大區(qū)別:

1.MEMS校準(zhǔn)需要用大容積工裝來(lái)同時(shí)大批量校準(zhǔn)。
2.MEMS對(duì)標(biāo)準(zhǔn)器的精度要求更高。
HSIN6800全自動(dòng)壓力芯片校驗(yàn)工裝主要由系統(tǒng)操作臺(tái)、mensor壓力控制器、壓力連接端口、軟件、數(shù)據(jù)采集器、電腦、打印機(jī)等組成,可提高標(biāo)準(zhǔn)器精度,可以使校準(zhǔn)的冗余量變大,更好的保證被檢產(chǎn)品的準(zhǔn)確度。
mensor壓力控制器標(biāo)準(zhǔn)器的負(fù)載能力增強(qiáng),可以用更大容積的工裝,可以同時(shí)校準(zhǔn)更多的產(chǎn)品,大大提高生產(chǎn)效率。同時(shí)高精度的活塞,傳感器及控制器標(biāo)準(zhǔn)器精度高達(dá)20ppm。更有效的保證MEMS傳感器的品質(zhì)。
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