Mensor壓力控制器 CPC6050泵調(diào)節(jié)器模塊控制規(guī)格如下：

氣源要求

快速模式：壓力變送器量程之上 10%。

慢速模式：無。

備注：氣源壓力與最小控制壓力之差必須小于 30 psi。通過良好

調(diào)節(jié)氣源壓力可以提升性能。

排氣要求

快速模式：要實(shí)現(xiàn)負(fù)壓控制，必須配備一個(gè)真空源。

慢速模式：無。

控制壓力穩(wěn)定性

快速和慢速模式：主動(dòng)量程范圍的 0.003%，顯示穩(wěn)定標(biāo)記后 10 秒鐘后一般優(yōu)于測(cè)量范圍的 0.001%。

可用傳感器量程

快速模式：絕壓：0 至 5 psia 到 0 至 30 psia

表壓：0 至 .36 psig 到 0 至 15 psig

雙向：-.18 至 +.18 psi 到 -大氣壓至 15 psig

慢速模式：絕壓：0 至 5 psia 到 0 至 30 psia

表壓：0 至 .36 psig 到 0 至 15 psig。

最小控制壓力

CPC6000快速和慢速模式：排氣壓力之上 0.05% FS 或 .05 psi，取二者較大者。絕壓量程上的最小控制點(diǎn)為 .5 psia。

壓力控制速率

快速模式：快速控制模式使用初級(jí)閥。

慢速模式：慢速模式只使用泵。

控制時(shí)間

快速模式：對(duì)于 50cc 容積中 10% FS 步進(jìn)壓力變化，10 秒鐘后顯示穩(wěn)定標(biāo)記。容積越大，此時(shí)間越長(zhǎng)。控制到較低絕壓時(shí)，此時(shí)間會(huì)延長(zhǎng)。

慢速模式：對(duì)于 50cc 容積中 10% FS 步進(jìn)壓力變化，15 秒鐘后顯示穩(wěn)定標(biāo)記。容積越大，此時(shí)間越長(zhǎng)。控制到低于 0.5 psia 的壓力時(shí)，此時(shí)間會(huì)延長(zhǎng)。