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石墨化爐型號:ZT-180-16詳細描述一、設備主要用途主要用于多晶硅生產線中后處理設備,系為還原爐石墨電極后處理之用,當石墨電極經酸洗、高溫烘干后殘余水氣、氯化鹽等需經高溫真空煅燒并由載氣排出爐外
石墨化爐
型號:ZT-180-16
詳細描述
一、設備主要用途
主要用于多晶硅生產線中后處理設備,系為還原爐石墨電極后處理之用,當石墨電極經酸洗、高溫烘干后殘余水氣、氯化鹽等需經高溫真空煅燒并由載氣排出爐外。設備分頂部裝料及底部裝料二種爐型供選購,配有PLC及人機界面可實現全自動運行。底裝料由于其操作方便,脫氣功能強更受歡迎。一爐大裝載量:350套石墨電極。
二、主要技術參數
1. 額定功率:120KW,180KW
2. 工作區(qū)尺寸:Φ500×550(石墨管加熱)
Φ800×550(石墨棒加熱)
3. 高溫度:1650℃
4.極限真空度:6*10-3Pa
5.保護氣氛:氬氣或氮氣
6.大裝載量:350套石墨電極
7.生產周期:50小時/爐
三、結構說明
由爐蓋、爐體、爐底、爐架及平臺、真空系統及電控系統等組成。
特點:爐內安裝純化石墨,2000度處理的石墨氈等組成保溫層。
全自動生產模式,長壽命熱電偶控溫,多點監(jiān)視溫度,底裝式方式操作方便,上爐蓋也能打開,維修方便。
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