上海晨華科技股份有限公司
氮化鋁、氮化硅基片燒結爐主要技術參數:型號:ZT-300-201
氮化鋁、氮化硅基片燒結爐
主要技術參數:
型號:ZT-300-20
1.額定功率:300KW
2.工作區(qū)尺寸:600×600X1200mm(WXHXD)
3.加熱區(qū):兩區(qū)加熱
4.高溫度:2000℃
5.極限真空度:5X10-1Pa
6.工作氣氛:N2,or Ar
7.溫度均勻性:±7.5℃
8.控溫精度:±1℃
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主營產品:真空爐,電阻爐,真空熱壓爐、真空燒結爐、氣壓燒結爐、真空熔煉爐、SPS放電等離子快速壓力燒結爐
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