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行業(yè)產(chǎn)品

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上海蒲柘光電儀器有限公司


等離子去膠機(jī)P-MD

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)P-MD

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2023-11-01 11:21:48瀏覽次數(shù):297次

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經(jīng)營(yíng)模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:377條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:銷售 (銷售)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品概述去膠工藝是微加工過(guò)程中一個(gè)重要的過(guò)程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對(duì)光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理

詳細(xì)介紹

去膠工藝是微加工過(guò)程中一個(gè)重要的過(guò)程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對(duì)光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對(duì)樣片是否有損傷等問(wèn)題,將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。P-MD使用性能出色的組件和軟件,可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。它的工藝監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集軟件可實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。

P-MD參數(shù)(標(biāo)準(zhǔn)配置)

外部尺寸

641*533*451mm

 

真空腔尺寸

直徑210mm*230mm

不銹鋼腔體

電極尺寸

125*125mm  間距20-75mm可調(diào)

二個(gè)多控自適應(yīng)平板電極

等離子體發(fā)生器

RF射頻發(fā)生器,頻率:13.56MHz

自適應(yīng)阻抗匹配電源

功率

0-200W連續(xù)可調(diào)

精度1W

工藝氣體要求

1/4英寸卡套接口/15-30psig

 

工藝氣體種類

CF4=99.97%; O2=99.996%;N2=99.99%

AR=99.999%  其它氣體咨詢

氣體控制

2路針式氣體流量閥

0-300ml

控制方式

4.3寸觸摸屏

界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)

保護(hù)裝置

一鍵急停保護(hù)按鈕

 


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