北京博旻興業(yè)科技有限公司
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更新時間:2020-07-16 12:49:21瀏覽次數(shù):509次
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LYRA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡
大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于高性能軟件,TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的*工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。
LYRA3系列的設(shè)計適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于高性能軟件,TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的*工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。LYRA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡
現(xiàn)代電子光路LYRA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡
· *的大視野光路設(shè)計提供各種工作與顯示模式
· 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉(zhuǎn)換器”
· 結(jié)合了*的電子光學設(shè)計軟件的實時電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™),可模擬和優(yōu)化電子束
· 全自動鏡筒設(shè)置與對中
· 成像速度很快
· 3維電子束技術(shù)提供實時立體圖像
· 可選的電子束遮沒裝置提供了電子束光刻技術(shù)
高性能離子光路
· 高性能CANION FIB設(shè)備提供既快又精確的切片與TEM樣品制備技術(shù)
· 可選的高分辨率COBRA-FIB離子束設(shè)備在成像與銑削過程中依然保持很高的分辨率
聚焦離子束裝置
· 裝有兩套差異泵的*離子束裝置使離子散射效應(yīng)較更低
· 馬達驅(qū)動高重復性光闌轉(zhuǎn)換器
· 電子束遮沒裝置與法拉第筒作為標配
· 同時可以進行離子刻蝕/沉積與SEM成像
· FIB的操作軟件集成在SEM軟件
· 軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數(shù)
· 微/納米加工
· 離子束光刻
維修簡單
只需要很短的停機檢修時間,就能使得電鏡*保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個細節(jié)設(shè)計得非常仔細,使得儀器的效率大化,操作簡化。
LYRA3 GM
LYRA 3 GM是一款*由計算機控制的聚焦離子束場發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS), 有高真空和低真空兩種模式,其具有突出的光學性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等
LYRA3 XM
LYRA3 XM是一款*由計算機控制的聚焦離子束場發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS),有高真空和低真空兩種模式,其具有突出的光學性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點?;?/span>Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集,可以保存標準文件格式的圖片,可以對圖像進行管理、處理和測量,實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。
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