1.輸出阻抗高，負載能力差
電容式傳感器由于受電極幾何結構的限制（對于幾十到幾百個皮膚法，使傳感器的輸出阻抗很高），通常不太大。因此，電容式傳感器負載能力差，易受外界干擾，導致不穩(wěn)定。嚴重時甚至不能工作，須采取屏蔽措施。還要求傳感器絕緣部分的電阻值非常高（超過幾十兆歐），否則絕緣部分將起到旁路電阻和傳感器性能（如靈敏度降低）的作用。為此，應特別注意周圍環(huán)境（如溫度、濕度、清潔度等）對絕緣性能的影響。高頻電源雖然可以降低傳感器的輸出阻抗，但放大和傳輸盒比低頻電源復雜得多，寄生電容大，很難保證工作的穩(wěn)定性。
2.寄生電容影響大
初始電容傳感器要小，而電線電纜電容、雜散電容測量電路和電容傳感器板及其周圍導體的寄生電容較大，這不僅降低了傳感器的靈敏度，而且電容（如電纜電容）往往是隨機變化的，會使傳感器工作不太穩(wěn)定，影響測量精度，甚至超過由測量電容變化引起的變化，使傳感器無法工作。因此，對電纜的選擇、安裝和連接都有嚴格的要求。
3.輸出特性是非線性的
變極距電容傳感器的輸出特性是非線性的。其他電容傳感器的輸出特性只有在忽略電場邊緣效應的情況下才是線性的。否則，邊緣效應產(chǎn)生的附加電容地址將直接加到傳感器電容地址中，使輸出特性非線性。
