OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。
用于半導(dǎo)體擴散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制，用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測量，測量氧氣濃度，防止粉塵運輸中粉塵爆炸。

詳細(xì)介紹

主要技術(shù)參數(shù)：

測量對象	惰性氣體中的氧氣濃度（易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體（包括水蒸氣）除外）
測量系統(tǒng)	氧化鋯系統(tǒng)
采樣方法	泵式、抽提式等
樣氣條件	流速：200±25ml/min（僅適用于傳感器）溫度：0～50℃（無結(jié)露）濕度：無結(jié)露壓力：0～300PaG zui大容許壓力：30kPaG
測量量程	0～10ppm O2至0～100vol% O2
輸出量程	自動：	0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～（默認(rèn)）
	固定：	設(shè)為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～
	部分：	可設(shè)置下限值或上限值
模擬輸出	2路輸出，第一路：4～20mA DC（zui大負(fù)載電阻550Ω），第二路：可選為0～1，0～5，0～10V DC（負(fù)載電阻：10kΩ或更大）
接點輸出	報警輸出2點：			錯誤接點，O2濃度報警接點
	量程范圍輸出1點：			接點輸出
	多選擇器（選配件）：			流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出
接點輸入	1點：采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF
自診斷	故障：	傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯誤，CPU錯誤，FAN停止
	報警：	加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，標(biāo)定錯誤，傳感器電阻錯誤，O2濃度上/下限，超限
串口通信	RS-232，38400 bps
標(biāo)定方法	（1）3點：10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點：可設(shè)定為零點氣和量程氣標(biāo)定，（3）1點，（4）空氣標(biāo)定
暖機時間	20分以內(nèi)
電源	100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz
功耗	100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大
尺寸	213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm
質(zhì)量	約5kg
管線連接	氣體入口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋氣體出口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
環(huán)境條件	安裝條件：		室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域
	環(huán)境溫度：		0～40℃，無結(jié)露
	環(huán)境濕度：		5～85%RH
	儲存溫度：		-5～50℃
重復(fù)性	±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或）
線性	±2%F.S. ±3%F.S.（0～100ppm或更低）
響應(yīng)時間	90%響應(yīng) 10秒內(nèi)（0～1%或更高） 30秒內(nèi)（小于0～1%）
漂移	±2%F.S./周