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技術(shù)文章

紅外熱像儀在LED芯片上去除光刻膠的應(yīng)用

閱讀:59發(fā)布時(shí)間:2025-10-31

在LED芯片生產(chǎn)過程中,要經(jīng)過劃片工藝,經(jīng)過劃片后的LED芯片側(cè)面比較光滑,因此要對LED芯片側(cè)面進(jìn)行腐蝕,使得側(cè)面變得粗糙,從而增加側(cè)面的發(fā)光面積,以達(dá)到增加光功率的目的。經(jīng)過劃片和側(cè)面腐蝕工藝會(huì)使LED的正面受到劃損或者腐蝕。因此,在劃片之前會(huì)在LED芯片的正面會(huì)覆蓋一層光刻膠,用以保護(hù)LED芯片,在經(jīng)過側(cè)面腐蝕工藝之后,已經(jīng)不再需要光刻膠作為保護(hù)層,需將光刻膠從LED芯片上去除。

紅外熱像儀在LED芯片上去除光刻膠的應(yīng)用

去除LED芯片上的光刻膠是LED芯片制造工藝中的重要工序,在光刻膠去除的研究中,長期以來一般使用干法去膠或濕法去膠,但干法處理存在容易遺留殘?jiān)戎T多缺陷,因此目前行業(yè)內(nèi)主要使用濕法去膠。濕法去膠一般用有機(jī)正膠去膜劑作為去膠劑,如601正膠去膠劑;該正膠去膠劑容易揮發(fā),操作員的工作環(huán)境惡劣;去膠過程容易腐蝕鋁電極,使鋁電極顏色變黃;又由于使用有機(jī)正膠去膜劑去膠不容易控制去膠進(jìn)度,導(dǎo)致只能單片作業(yè)以確保去膠正常進(jìn)行。

芯片尺寸為1mm*1mm,客戶想要觀測LED通電后芯片表面的光刻膠是很困難的,在熱像儀的觀測下,led的光刻膠相對于其他地方的反射率迥然不同。

在可見光波段,它們看起來或透明或與基底顏色相似。然而,在紅外熱像波段,它們看起來顏色更深,特別是相對于其他地方的顏色。

使用紅外熱像儀觀測出光刻膠,精準(zhǔn)的找到光刻膠的位置,可以更快更精準(zhǔn)的去掉膠體

紅外熱像儀在LED芯片上去除光刻膠的應(yīng)用

紅外熱像儀的優(yōu)勢:

非接觸的方式可以直接讀出LED芯片的溫度分布情況,避免了因?yàn)榻佑|測溫造成的溫度變化;

熱像儀可以觀測很微小的物體;

更精確的測量

可以在長時(shí)間做在線監(jiān)控;

可以查看溫度變化過程,后期可以進(jìn)行分析。


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