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覆層測(cè)厚儀的基本原理與測(cè)量方法

閱讀:331發(fā)布時(shí)間:2021-10-29

覆層測(cè)厚儀采用磁性法和渦流法的測(cè)厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實(shí)用化發(fā)展。測(cè)量的分辨率已達(dá)0.1微米,精度可達(dá)到1%。它適用范圍廣,量程寬、操作簡(jiǎn)便且價(jià)廉,是工業(yè)和科研使用*廣泛的測(cè)厚儀器。而且是無(wú)損測(cè)量,既不破壞覆層也不破壞基材,檢測(cè)速度快,能使大量的檢測(cè)工作經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行。其基本原理是結(jié)構(gòu)由磁鋼,接力簧,標(biāo)尺及自停機(jī)構(gòu)組成。磁鋼與被測(cè)物吸合后,將測(cè)量簧在其后逐漸拉長(zhǎng),拉力逐漸增大。當(dāng)拉力剛好大于吸力,磁鋼脫離的一瞬間記錄下拉力的大小即可獲得覆層厚度。
覆層厚度的測(cè)量方法主要有:楔切法、光截法、電解法、厚度差測(cè)量法、稱(chēng)重法、X射線(xiàn)熒光法、β射線(xiàn)反向散射法、電容法、磁性測(cè)量法及渦流測(cè)量法等。這些方法中前五種是有損檢測(cè),測(cè)量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗(yàn)。
X射線(xiàn)和β射線(xiàn)法是無(wú)接觸無(wú)損測(cè)量,但裝置復(fù)雜昂貴,測(cè)量范圍較小。因有放射源,使用者必須遵守射線(xiàn)防護(hù)規(guī)范。X射線(xiàn)法可測(cè)極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線(xiàn)法適合鍍層和底材原子序號(hào)大于3的鍍層測(cè)量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測(cè)厚時(shí)采用。

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