江蘇弗里森流體工程技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品型號GRF Series
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更新時(shí)間：2023-03-12 08:17:49瀏覽次數(shù)：173次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 儀表網(wǎng)住友臭氧發(fā)生儀器住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。住友臭氧發(fā)生儀器
住友臭氧發(fā)生儀器 住友臭氧發(fā)生儀器 住友臭氧發(fā)生儀器應(yīng)用： 1. 半導(dǎo)體器件 2. Si/復(fù)合晶圓 3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED） 4. 光罩 5. 發(fā)光二極管 住友臭氧發(fā)生儀器具體規(guī)格 臭氧氣體流速 1L/min to 24L/min 臭氧氣體供應(yīng)壓力 *大0.15MPa 冷卻水溫度 20°C±2°C 尺寸 W483mm x D453mm x H266mm 重量 30 to 45kg 功率 200-220VAC, 3-phase
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
[at 210g/m3(N)]
住友臭氧發(fā)生儀器優(yōu)勢：
高濃度；高達(dá)400g/m3（N），不含氮摻雜
19英寸機(jī)架尺寸標(biāo)準(zhǔn)型號
豐富的產(chǎn)品線；小容量到大容量
高壓耐受，長壽命放電單元
快速啟動，快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用
管道材料；從316LSS或P中選擇
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