江蘇弗里森流體工程技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)SG-HE XL
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時(shí)間：2023-03-12 08:23:22瀏覽次數(shù)：121次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 儀表網(wǎng)住友臭氧發(fā)生儀住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。住友臭氧發(fā)生儀?
住友臭氧發(fā)生儀 住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。 住友臭氧發(fā)生儀 應(yīng)用： 臭氧氣體流速 300g/?(N) 臭氧氣體供應(yīng)壓力 140L/min、175L/min、210L/min（200g/?(N)) 冷卻水溫度 20°C±2°C 尺寸 W700×D900×H2,154 (140L/min) 冷卻水流速比 >48L/min 功率 AC200V 3-phase
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發(fā)光二極管
具體信息：
優(yōu)勢(shì)：
高流量；高達(dá)210 l/min
高壓耐受，長(zhǎng)壽命放電單元
快速啟動(dòng)，快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測(cè)儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度
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