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住友臭氧發(fā)生儀

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更新時間：2023-03-12 08:29:23瀏覽次數(shù)：337次

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住友臭氧發(fā)生儀住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。住友臭氧發(fā)生儀

詳細介紹

住友臭氧發(fā)生儀

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友臭氧發(fā)生儀

應(yīng)用：

半導(dǎo)體器件

Si/復(fù)合晶圓

FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）

光罩

發(fā)光二極管

具體

溶解臭氧濃度	5 to 30ppm
臭氧化超純水流量	1 to 60L/min
原料氣	氧氣、二氧化碳
功率	200-220VAC, 3-phase

優(yōu)勢：

根據(jù)所需流量改變流量。（降低超純水消耗量）

多室電源

采用噴射溶解法快速反應(yīng)。

與臭氧監(jiān)測儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度

無氮臭氧水

運行成本低（功耗低，易損件數(shù)量少，放電單元壽命長）

高壓耐受，長壽命放電單元

關(guān)閉期間免維護

關(guān)鍵詞：臭氧發(fā)生器發(fā)光二極管

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