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單晶硅壓力變送器的工作原理

閱讀:2004      發(fā)布時間:2022-4-25
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    傳感器模塊采用全焊接技術(shù),內(nèi)部擁有一個整體化的過載膜片,一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補(bǔ)償?shù)膮⒖贾?。壓力傳感器的正壓?cè)與傳感器膜盒的高壓腔相連,傳感器的負(fù)壓側(cè)與傳感器膜盒的低壓腔相連,壓力通過隔離膜片和填充液,傳遞給傳感器內(nèi)的硅芯片,使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化,從而導(dǎo)致檢測系統(tǒng)輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比,再由適配單元和放大器轉(zhuǎn)化成一標(biāo)準(zhǔn)化信號輸出。

測量檢查

拆下法蘭,檢查敏感部件隔離膜片有無變形,破損和漏油現(xiàn)象發(fā)生。

拆下補(bǔ)償板,不取出敏感部件,檢查插針對殼體的絕緣電阻,在電壓不超過100V的情況下,絕緣電阻不應(yīng)小于100MΩ。

接通電路和氣路,當(dāng)壓力信號為量程上限值時,關(guān)閉氣源,輸出電壓和讀數(shù)值應(yīng)穩(wěn)定不動。如果輸出電壓下降,則說明變送器有泄漏,可用肥皂水檢查出泄漏部位。


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