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氣體質(zhì)量流量控制器的響應(yīng)時間對工藝的影響

閱讀:14發(fā)布時間:2026-4-13

   隨著越來越多的用戶使用氣體質(zhì)量流量控制器,目前用戶在產(chǎn)品性能方面,也提出了很多高標(biāo)準(zhǔn)和要求,比如:精度、穩(wěn)定性、耐壓、響應(yīng)時間等等。今天就簡單的聊聊,氣體質(zhì)量流量控制器的響應(yīng)時間問題。

熱式氣體流量計(jì)1.jpg氣體質(zhì)量流量控制器

   目前國產(chǎn)產(chǎn)品中精度等級高的就是0.35%F.S,常規(guī)產(chǎn)品的使用精度都在±1%F.S;進(jìn)口產(chǎn)品的精度能達(dá)到±1%SP。產(chǎn)品的耐壓等級可根據(jù)流量大小的不一樣,分為:3Mpa和10Mpa。

   熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)作為新型的氣體流量調(diào)節(jié)控制裝置主要是利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳遞分布效應(yīng)而制成,即熱分布式流量計(jì),采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,通過閉環(huán),去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流,控制輸出的流量檢測電壓與流過通道的流量成比例。

   氣體質(zhì)量流量控制器的響應(yīng)時間,根據(jù)生產(chǎn)原理的不同會有不同時間反應(yīng),一般芯片式或差壓式原理的控制器響應(yīng)時間會快于毛細(xì)管式的。在響應(yīng)時間上,進(jìn)口產(chǎn)品和國產(chǎn)產(chǎn)品也是很有差異的。



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