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成都松盛測控技術(shù)有限公司


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技術(shù)文章

MFC中各種氣體的轉(zhuǎn)換方法和系數(shù)

閱讀:30發(fā)布時間:2026-4-14

   成都松盛測控技術(shù)有限公司銷售的氣體質(zhì)量流量控制器是以熱式為原理的,因其功能的不同,又分別稱為熱式氣體質(zhì)量流量控制器MFC和熱式氣體質(zhì)量流量計MFM。

常規(guī)的MFC在出廠的時候,是用氮氣標(biāo)定的,那么在使用到其他種類的氣體時,應(yīng)該怎么樣來轉(zhuǎn)換氣體種類以及不同氣體的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)是怎么樣的呢?

配氣儀SSGM

   單一種類氣體的轉(zhuǎn)換方法:用氮氣標(biāo)定的氣體質(zhì)量流量控制器顯示出來的流量讀數(shù),與實際使用的氣體可以通過轉(zhuǎn)換系數(shù)進行換算,算出被使用氣體的流量,與系數(shù)相乘,即可得到被測氣體在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的實際流量。轉(zhuǎn)換公式:實際氣體流量=氣體顯示讀數(shù)*實際流入氣體系數(shù)/標(biāo)定氣體系數(shù)。

熱式氣體質(zhì)量流量控制器

   對于多種不同濃度的混合氣體:轉(zhuǎn)換公式:混合氣轉(zhuǎn)換系數(shù)=100/【(P1/種氣體系數(shù))+(P2/種氣體系數(shù))+(P3/種氣體系數(shù))】

   每個廠家在對氣體流量系數(shù)轉(zhuǎn)換表的換算關(guān)系不同,因為關(guān)于氣體流量系數(shù)轉(zhuǎn)換表可參考每個廠家的說明。




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