成都松盛測控技術(shù)有限公司
成都松盛測控技術(shù)有限公司
閱讀：79發(fā)布時間：2026-4-20
模擬型和數(shù)字型的熱式氣體質(zhì)量流量控制器主要是通過0-5V、4-20mA信號或RS485 modbus協(xié)議，來進行數(shù)據(jù)通信，目前在PE CVD真空設(shè)備中使用，等離子體增強化學(xué)的氣相沉積法。這種方法有很多優(yōu)點，比如成膜質(zhì)量好等。PECVD比普通CVD進行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很。
熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。
本公司的質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計具有響應(yīng)速度快，穩(wěn)定性能、準(zhǔn)確度高、優(yōu)良的耐腐蝕性，寬壓力范圍、線性度出色。目前使用在電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、氧化、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、催化裝置、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器等行業(yè)中。
儀表網(wǎng) 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼