成都松盛測控技術有限公司
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閱讀：18發(fā)布時間：2026-4-23
隨著近幾年來，半導體材料行業(yè)的快速發(fā)展，穩(wěn)定精準的氣體質量流量控制器被越來越廣泛的使用。由于硅半導體耐高電壓、耐高溫、晶帶寬度大，比其它半導體材料有體積小、效率高、壽命長等優(yōu)點，因此被廣泛用于電子工業(yè)集成電路的生產中。晶體硅材料是主要的光伏材料，性質為帶有金屬光澤的灰黑色固體、熔點高、硬度大、有脆性、常溫下化學性質不活潑，其在 90%以上。
氣體質量流量控制器采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過質量流量控制器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。
熱式氣體質量流量傳感器是氣體質量流量控制器中一個重要的核心部件,對氣體質量流量控制器的性能指標，如零漂、線性、重復度、響應時間等重要指標參數有直接影響，要使氣體質量流量控制器的性能指標得到明顯改善,首先就要提升熱式氣體質量流量傳感器的性能。
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