成都松盛測控技術(shù)有限公司
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閱讀：28發(fā)布時間：2026-4-24
人們在使用熱式氣體質(zhì)量流量控制器或質(zhì)量流量計的時候，會看到流量控制器和流量計上面的常規(guī)表示單位為：SCCM或SLM；也有g(shù)/s或是kg/h等，那么這些單位的表示方法，分別代表著什么意思呢？
本公司生產(chǎn)的模擬式和數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。質(zhì)量流量單位：SCCM表示（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘） SLM表示（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）；氣體質(zhì)量流量的標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)狀況為：溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa（760mmHg）；常用的符號F.S（Full Scale）表示滿量程。
也有一些MFC或MFM的表示單位為 g/s（克每秒）或kg/h（千克每小時），也是表示在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體質(zhì)量流量的單位。不管客戶選用何種表示單位，都代表的是一種標(biāo)準(zhǔn)狀況下的氣體質(zhì)量流量，只是單位的表現(xiàn)形式不同而已，需要測量的質(zhì)量是恒定不變的。質(zhì)量流量控制器/流量計測量氣體是不受溫度、壓力影響。質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能，它還能自動控制氣體流量，可根據(jù)實際需要進(jìn)行流量設(shè)定，并自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值的誤差范圍。
松盛測控生產(chǎn)的熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計以及氣體動態(tài)配比裝置目前應(yīng)用的行業(yè)有：真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實驗設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護(hù)設(shè)備、各種分析儀器設(shè)備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設(shè)備。
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