怎么理解質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量控制器的流量單位？
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（StandardCubicCentimeterperMinute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（StandardLiterperMinute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來(lái)表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：氣壓—101325Pa(760mmHg);溫度—0℃(273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之處。
對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù),可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說(shuō),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是,被質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位,不符合國(guó)內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國(guó)際單位（Kg/min）,但是它符合國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
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