氣體質(zhì)量流量控制器原理關(guān)于MFC 和MFM
1． 質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器的概念
質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter (MFM)，是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。
質(zhì)量流量控制器，即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC 自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。
2． 質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器的流量單位
氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）和SLM (Standard Liter per Minute) 來表示，亦即每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升、每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是SCCM、SLM 不同于Ml/min、L/min 之處。如果需要單位時間內(nèi)流過的質(zhì)量（如g/min），可以查閱標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度，然后作乘法就可以了。
3．質(zhì)量流量計／質(zhì)量流量控制器的主要的優(yōu)點
（1） 直接測量氣體的質(zhì)量流量
熱式質(zhì)量流量計直接測量流體質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號，無需其他設(shè)備，如溫度測試儀和壓力表，也無
需進(jìn)行換算。（2） 無可移動部分
本身無類似轉(zhuǎn)軸等的移動部件，增加了本身的可靠性，無需機(jī)械維護(hù)。
（3） 可以精確的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。
（4） 測量控制的自動化
質(zhì)量流量計／質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示，流量自動計量，數(shù)據(jù)自動記錄，計算機(jī)管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。
（5） 精確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制等。
（6） 準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好
我們的產(chǎn)品準(zhǔn)確度可達(dá)+-1%F.S（full scale）重復(fù)性為＋-0.25%F.S（full scale）
（7） 體積小巧，安裝方便，操作簡單
（8） 技術(shù)，符合發(fā)展潮流
4．使用流量計／質(zhì)量流量控制器應(yīng)注意的問題
（1）被測氣體需要清潔。
注意不要造成氣路堵塞，當(dāng)質(zhì)量流量控制器出現(xiàn)某些故障，或氣源不潔導(dǎo)致傳感器或分流器堵塞，或因操作失誤，均有可能造成堵塞。對于的用戶而言，應(yīng)當(dāng)特別給以注意，既要選擇合適的型號，又要正確進(jìn)行系統(tǒng)設(shè)計和正確使用。
（2）我公司產(chǎn)品以氮氣（N2）來標(biāo)定,如用其他氣體時需要進(jìn)行換算
5．區(qū)分使用質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器的場合
一般而言，僅對流量進(jìn)行計量或監(jiān)測時，用質(zhì)量流量計；需要對流量進(jìn)行控制時，用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，但質(zhì)量流量控制器更好用。
6．不同氣體的質(zhì)量流量的換算
產(chǎn)品出廠一般是按氮氣標(biāo)定、按氮氣流量確定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC 測量不同的氣體，當(dāng)流量檢測值相同時， 實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標(biāo)定氣體（氮氣）的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（按氮氣標(biāo)定顯示），而需要知道實際使用氣體的質(zhì)量流量時，先在產(chǎn)品說明書中找到實際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測量過程中，在此系數(shù)乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質(zhì)量流量；反之，在確定所購產(chǎn)品的量程時， 以實際使用氣體的期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù)，即是相應(yīng)的氮氣標(biāo)定產(chǎn)品的流量值。
7. MFC/MFM 適用范圍
有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10MPA；本公司MFC/MFM 可以適用于很多氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性的氣體，如三氧化硼，三氯化硼，，等等）有很寬的流量范圍，產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0~5sccm，流量范圍可達(dá)0~120slpm。流量控制范圍是滿程的2~99%（量程比為50：1），在很多的領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
8. 部分常用單位
1000sccm 等於1 liter 30slpm = 30 liters(公升)
sccm : s = standard cc = cm 的3 次方m = minute(分鐘)
slpm : s = standard l = liter p = per m = minute(分鐘)
Sccm：標(biāo)準(zhǔn)毫升/分slpm：標(biāo)準(zhǔn)升/分
9. 標(biāo)定的不同氣體的換算方法
本氣體質(zhì)量流量計出廠通常以N2 標(biāo)定，如使用其他氣體標(biāo)定，請在訂貨時與銷售人員特別提出。
