由于自然空氣是不純凈的，不但含有一定量的水分，同時還含有大量的灰塵等雜質(zhì)，在這些雜質(zhì)伴隨空氣進入到空氣壓縮機中時，這些雜質(zhì)又會和壓縮機中的油霧顆粒一同被帶入壓縮空氣中。這些雜質(zhì)如不經(jīng)過處理，對于三坐標測量機的使用及性能是非常有害的，主要表現(xiàn)在以下兩方面：
（1）空氣雜質(zhì)的影響
未經(jīng)過過濾的壓縮空氣中，存在大量的雜質(zhì)顆粒，這些顆粒主要成分是粉塵顆粒，直徑大小在幾個到幾十個微米，和空氣中的水分一同進入壓縮機后，在壓縮機的作用下，會形成一些直徑更大的雜物，如果這種雜物沒有過濾而直接進入三坐標測量機中使用，可能會嚴重的威脅到三坐標測量機的使用壽命，嚴重的情況下，可能導(dǎo)致三坐標測量機損壞。
（2）油和水的影響
空氣壓縮機中的油霧和空氣中的水分在高壓的作用下被壓縮成一體，這些沒有經(jīng)過過濾的空氣雜質(zhì)進入三坐標測量機的氣路中后，會嚴重腐蝕氣路的管道，而在配管中生成另外的雜質(zhì)（如銹蝕）又將直接影響導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)致測量結(jié)果不準確，甚至影響三坐標測量機的壽命。
