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日本奧林巴斯Olympus OLS4100激光掃描顯微鏡 X射線探傷機

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產(chǎn)品簡介

LEXT OLS4100是款激光掃描顯微鏡通過非接觸方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測量可以方便快捷地獲取影像，更精確的測量。更快速的操作。更高畫質(zhì)的影像。

詳細(xì)介紹

商品詳情

LEXT OLS4100激光掃描顯微鏡產(chǎn)品簡介

奧林巴斯 3D 測量激光顯微鏡廣泛應(yīng)用于不同行業(yè)的質(zhì)量控制、研究和開發(fā)過程，它在激光顯微領(lǐng)域樹立了全新的標(biāo)準(zhǔn)?，F(xiàn)在，為滿足測量精度不斷提高和測量范圍日益擴(kuò)大的需求，奧林巴斯推出了新型產(chǎn)品 LEXT OLS4100。該產(chǎn)品不但可以讓測量更加快速、簡單，而且可以拍攝到更高畫質(zhì)的影像，大大突破了激光顯微鏡的界限。全新的 OLYMPUS LEXT OLS4100。突破“可能"的界限。

LEXT OLS4100激光掃描顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢

非接觸式、無損測量

激光掃描顯微鏡（LSM）采用的是低功率激光，不接觸樣品。因此，不像基于探針系統(tǒng)的接觸式表面粗糙度儀那樣存在損壞樣品的風(fēng)險。

的 XY 測量

在 XY 平面精確測量亞微米級的距離

干涉儀是基于普通白光的光學(xué)顯微鏡，它的平面分辨率不高。而 LSM 通過采用更大數(shù)值孔徑的物鏡，和更小波長的光波，極大地提高了平面分辨率。并且通過高精度的激光控制技術(shù)，獲得更為精確的樣品表面形貌。根據(jù)拍攝到的圖像，LSM可以進(jìn)行非常精確的 XY 平面亞微米測量。LEXT OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。

無需前期準(zhǔn)備即可成像

掃描電子顯微鏡（SEM）在觀察之前需要進(jìn)行前期的樣品準(zhǔn)備，如真空脫水和（或）切片處理使之適合樣品室。而 LSM 則無需前期的樣品準(zhǔn)備即可對樣品進(jìn)行測量。而且，將樣品放置在載物臺上之后，即可直接開始成像。

更大的樣品范圍-輕松檢測 85° 尖銳角

采用了有著高 N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)（能大限度發(fā)揮 405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。

高度分辨率 10 nm，輕松測量微小輪廓

由于采用 405 nm 的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達(dá)到了 0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對樣品的表面進(jìn)行亞微米的測量。結(jié)合高精度的 0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，

克服反射率的差異

OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100上獲得鮮明的影像。

觀察／測量透明材料的各個層

多層模式可實現(xiàn)對透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層，也可測量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。

適用于透明層-多層模式

LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點，這樣即可實現(xiàn)對透明樣品上表面的觀察和測量，而且也可以對多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測量。

工業(yè)領(lǐng)域* 的兩項性能保證

通常表示測量儀器的測量精度的，有2 個指標(biāo)："正確性"，即測量值與真正值的接近程度，和"重復(fù)性"，即多次測量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界同時保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。

更多的測量類型-7 種測量模式

更精準(zhǔn)的粗糙度測量

作為表面粗糙度測量的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開發(fā)了 LEXT OLS4100。對LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在 LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度專用模式，可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離長為 100 mm 的粗糙度。

? 微細(xì)粗糙度

使用接觸式表面粗糙度測量儀，無法測量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而 OLS4100 有著微小的激光光斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測量。

? 非接觸式測量

使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會粘在探針上，無法得到正確的測量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡 OLS4100，不會影響樣品的表面狀態(tài)，可以準(zhǔn)確的測量樣品的表面粗糙度。

? 微米級特征的測量

使用接觸式表面粗糙度測量儀，其探針無法進(jìn)入微米級的區(qū)域，所以不能對這些區(qū)域的特征進(jìn)行測量。而OLS4100 可以正確定位，能輕松測量出特定微小區(qū)域的粗糙度。

簡易的三步流程

使用LEXT OLS4100，只需將樣品放置在載物臺上之后即可立即開始觀察／測量。由于采用了簡易的三步流程——成像、測量和報表——即使用戶不熟悉激光顯微鏡，也可以快速掌握測量的流程。

快速的宏觀圖拼接

掃描大面積區(qū)域時有兩種拼接方法可用：獲取實時影像時的手動模式和快速獲取影像時的自動模式。操作非常快速簡單——2D 拼接只需一鍵操作即可開始，并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動模式下有五級拼接尺寸可用，分別為：3×3、5×5、7×7、9×9 和 21×21。對于影像上不需要的部分，可以使用簡單的鼠標(biāo)或控制桿操作手動刪除。

用于簡易3D 成像的智能掃描

自動3D影像獲取

傳統(tǒng)的3D 掃描需要復(fù)雜的設(shè)置，這對新手來說非常困難。LEXT OLS4100 采用了全新的智能掃描模式，即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設(shè)置，系統(tǒng)也會根據(jù)要獲取的影像自動設(shè)置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得精確的高度測量和優(yōu)質(zhì)的影像。

更快的掃描速度

新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統(tǒng)快速模式的2 倍，約是精細(xì)模式的9 倍。因此，對于那些需要非常精細(xì)的Z 軸移動和*的放大倍率的樣品，該模式就非常地適用，例如對刀具的進(jìn)行檢測。

全新的高速拼接模式

從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域

在宏觀圖中，要觀察的區(qū)域可以從大范圍的視圖中在自動模式中，通過設(shè)置多625 幅影像的矩形拼接尺寸，可以自動生成區(qū)域圖，所需的時間大約只需要通常的一半。下一步，在區(qū)域圖上所需的影像并立即開始觀察。

手動所需的影像區(qū)域

在實時模式中，通過在屏幕上跟蹤所需的區(qū)域，可以手動選擇要觀察的區(qū)域。當(dāng)觀察的樣品具有不規(guī)則的形狀時，該功能非常實用。

快速影像拼接

要使用智能掃描模式獲取影像時，只需一鍵操作即可。由于智能掃描會自動調(diào)整Z 軸方向的設(shè)置，Z 軸方向的影像獲取可以僅局限在所需的區(qū)域，因此可以在進(jìn)行大范圍大功率觀察時節(jié)省很多時間。

一鍵操作定制報表

創(chuàng)建報表

OLS4100 在測量后可使用一鍵操作創(chuàng)建報表，而且使用編輯功能可以定制各個報表模板。將測量結(jié)果復(fù)制和粘貼到Word 或表格應(yīng)用程序也非常簡單，就像從數(shù)據(jù)庫取回所需的影像和報表一樣。

目標(biāo)的一鍵解決方案

向?qū)Чδ?/span>

為用戶設(shè)計的詳細(xì)的向?qū)Чδ苋∠巳唛L的培訓(xùn)，讓新手也能快速簡單地進(jìn)行操作。

商品參數(shù)

主機
LSM 部分		光源、檢出系統(tǒng)	光源：405 nm 半導(dǎo)體激光檢出系統(tǒng)：光電倍增管
		總倍率	108x ～ 17,280x
		變焦	光學(xué)變焦1x ～ 8x
測量	平面測量	重復(fù)性	00x: 3σn-1=0.02 µm
	平面測量	正確性	測量值的±2%以內(nèi)
	高度測量	方式	物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動方式
		行程	10 mm
		內(nèi)置比例尺	0.8 nm
		移動分辨率	10 nm
		顯示分辨率	1 nm
		重復(fù)性	50x: σn-1=0.012 μm
		正確性	0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝測量長度μm）
彩色觀察部分		光源、檢查系統(tǒng)	光源：白色LED，檢查系統(tǒng)：1/1.8 英寸200 萬像素單片CCD
彩色觀察部分		變焦	數(shù)碼變焦1x ～ 8x
物鏡轉(zhuǎn)換器			6 孔電動物鏡轉(zhuǎn)換器
微分干涉單元			微分干涉滑片：U-DICR，內(nèi)置偏振光片單元
物鏡			明視場平面半消色差透鏡5x、10x LEXT 專用平面復(fù)消色差透鏡20x、50x、100x
Z 對焦部分行程			100 mm
XY 載物臺			100×100 mm（電動載物臺），選件: 300×300 mm（電動載物臺）

此設(shè)備為專為在工業(yè)環(huán)境下實施檢測設(shè)計的A 類設(shè)備。如在住宅區(qū)內(nèi)使用可能會干擾其他設(shè)備。

物鏡
型號	倍率	視場	工作距離（WD）	數(shù)值孔徑（N/A）
MPLFLN5X	108x-864x	2,560-320 μm	20.0 mm	0.15
MPLFLN10X	216x-1,728x	1,280-160 μm	11.0 mm	0.30
MPLAPON20XLEXT	432x-3,456x	640-80 μm	1.0 mm	0.60
MPLAPON50XLEXT	1,080x-8,640x	256-32 μm	0.35 mm	0.95
MPLAPON100XLEXT	2,160x-17,280x	128-16 μm	0.35 mm	0.95

應(yīng)用實例

基本原理

OLS4100 的基本原理

405nm激光掃描

光學(xué)顯微鏡的水平分辨率很大程度上取決于所用光的光子和波長。采用短波長的激光掃描顯微鏡（LSM）比采用可見光（550 nm 峰值）的傳統(tǒng)顯微鏡，擁有更高的水平分辨率。LEXT OLS4100 所使用的是 405 nm 的短波長半導(dǎo)體激光，因此具有優(yōu)秀的平面分辨率。

2D 掃描系統(tǒng)

OLS4100 配有奧林巴斯的掃描加掃描型 2D 掃描儀，電磁 MEMS 掃描負(fù)責(zé) X 方向，Galvano 振鏡負(fù)責(zé) Y 方向。該創(chuàng)新型系統(tǒng)使得掃描儀的軸和物鏡瞳鏡處于共軛位置，這是一個理想的光學(xué)布局，該系統(tǒng)可以進(jìn)行高速、低變形的高精度 XY 掃描，使得 OLS4100 可以實現(xiàn)高達(dá) 4096×4096 像素的高精度掃描。

共焦光學(xué)系統(tǒng)

共焦光學(xué)系統(tǒng)有兩種*效果：去除模糊影像中的光斑、抽取同一高度平面。光斑的去除提升了 XY 的分辨率，加上只抽取同一高度平面的功能，因此共焦光學(xué)系統(tǒng)也作為高度傳感器來應(yīng)用。OLS4100 配有奧林巴斯雙共焦系統(tǒng)，即使具有不同反射率的樣品，也可以獲得非常清晰的影像。針孔產(chǎn)生共焦效果，使得各個方向都擁有較佳的對比度。

CFO 檢索

檢測高度信息是 OLS4100 的一項基本功能。通過在 Z 軸方向上移動物鏡，檢測出光強度變化來獲取高度信息。奧林巴斯的 CFO 技術(shù)可以自動檢測光強度以獲取不連續(xù)的數(shù)據(jù)，獲得理想 I-Z 曲線，從而計算出大亮度值和相應(yīng)的 Z 軸信息，用于確定影像的像素。CFO 技術(shù)可以獲得高重復(fù)性的數(shù)據(jù)。

OLS4100 光路圖

高畫質(zhì)影像

清晰鮮明的 3D 彩色影像

三種類型的綜合影像

LEXT OLS4100 可以同時獲取三種不同類型的影像信息：真彩3D影像、激光全焦點3D 影像和高度信息影像。

再現(xiàn)自然色

OLS4100 采用了白色的 LED 光源和高色彩保真度的 CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像，所得影像可以與高級的光學(xué)顯微鏡相媲美。

更加真實地再現(xiàn)表面

激光DIC（激光微分干涉）

微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對比，從而實現(xiàn)對微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式，即使是低倍率的動態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

亮度和對比度之間更加優(yōu)化的平衡

HDR（高動態(tài)范圍）影像

OLS4100 的高動態(tài)范圍（HDR）功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學(xué)顯微鏡影像，并且分別控制著亮度、對比度、紋理和飽和度，因此HDR 可以以寬動態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對紋理不明顯的樣品的彩色影像進(jìn)行清晰地觀察。

廠家介紹

● 奧林巴斯（中國）有限公司是一家主營工業(yè)、醫(yī)療和消費者市場的國際公司，專業(yè)進(jìn)行光學(xué)、電子學(xué)和精密性工程研究。

● 有關(guān)奧林巴斯公司的財政、投資商關(guān)系、公司簡介和公司歷史等信息，請訪問奧林巴斯業(yè)務(wù)信息網(wǎng)站。

● 該網(wǎng)站涵蓋了各種工業(yè)技術(shù)的投資信息，包括創(chuàng)新型檢測、測量和影像設(shè)備的投資信息。各種*的檢測技術(shù)，包括：內(nèi)窺檢測技術(shù)（RVI）、顯微鏡技術(shù)（IE）、超聲波技術(shù)（UT）、相控陣技術(shù)（PA）、渦流技術(shù)（EC）、渦流陣列技術(shù)（ECA）、X射線熒光技術(shù)（XRF）和光學(xué)測量技術(shù)。我們的產(chǎn)品包括超聲波探傷儀、測厚儀、內(nèi)窺鏡、管道鏡、顯微鏡、*的在線無損檢測系統(tǒng)、XRF和XRD分析儀、干涉儀，并有各種工業(yè)掃描儀、探頭、軟件程序和設(shè)備附件可供選擇。

● 我們的宗旨是為的消費者提供可靠、經(jīng)濟(jì)的系統(tǒng)。為此，我們加強了系統(tǒng)的安全性和質(zhì)量，保證了消費者的生產(chǎn)力，從而為社會作出貢獻(xiàn)。我們一直積極開發(fā)新技術(shù)、新產(chǎn)品和新服務(wù)，保證始終用杰出的方案滿足消費者的需求。因為產(chǎn)品的質(zhì)量直接關(guān)系到我們對消費者的責(zé)任，因此在進(jìn)行高質(zhì)量的產(chǎn)品設(shè)計時，我們始終遵守高的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)章，以確保產(chǎn)品對公眾的安全。