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行業(yè)產(chǎn)品

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廣州化興科創(chuàng)儀器設(shè)備有限公司


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島津儀器在電子、半導(dǎo)體、汽車行業(yè)的應(yīng)用

閱讀:310發(fā)布時間:2021-9-22

電 子
 支持電子零部件產(chǎn)品評價、品質(zhì)管理,介紹用于電子裝置實(shí)裝、半導(dǎo)體基板制造工藝中的檢測儀器。
·表面構(gòu)造解析裝置 ·接點(diǎn)不良/斷線、燒壞 ·腐蝕、剝離/接觸不良、異物
  電子探針 EPMA-1600/1610型
  分析掃描電子顯微鏡 SSX-550型
·異物解析裝置 ·表面污染/異物、污點(diǎn) ·缺陷 ·膜厚管理
  FTIR顯微鏡系統(tǒng)IRPrestige-21
·有害物質(zhì)測定裝置 ·有害重金屬、薄膜組成 ·不良解析、廢材處理
  能量色散型微區(qū)X射線熒光光譜儀 µEDX系列
  能量色散型X射線熒光光譜儀 EDX系列
·特性測定裝置/粒度測定裝置
  差示掃描量熱儀DSC-60系列
  差熱-熱重同時分析儀DTG-60系列
  對應(yīng)超微粒子型激光粒度儀SALD-7101
·潔凈室環(huán)境監(jiān)測 ·特定污染源、保持潔凈度 ·微量有機(jī)物、微量雜質(zhì)測定
  氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀GCMS-QP2010 Plus
  原子吸收分光光度計AA-6300C
  總有機(jī)碳分析儀燃燒法在線型TOC-V CSH online
·膜厚、光學(xué)特性測試裝置 ·膜厚/光學(xué)測定
  傅里葉變換紅外光譜儀IRPrestige-21
  紫外可見近紅外分光光度計SolidSpec-3700
·無損X射線檢查裝置 ·高密度實(shí)裝/可靠性 ·故障解析
  X-ray檢查裝置(透視)
  X-ray檢查裝置(CT)
·物理特性測試裝置 ·強(qiáng)度測試 ·耐久性測試
  小型臺式電子試驗(yàn)機(jī)EZ Test/EZ Graph
  微小電磁力疲勞試驗(yàn)機(jī)MMT系列
·物理特性測試裝置 ·表面硬度 ·粘性測定 ·天平
  超顯微動態(tài)硬度計DUH-211/211S
  毛細(xì)管式流變儀CFT-500D/100D
  分析天平AUW-D系列 電子托盤天平UX/UW系列

半 導(dǎo) 體 制 造 工 藝
  從前段工藝到后段工藝,島津的半導(dǎo)體制造技術(shù)和檢測技術(shù)支持不斷創(chuàng)新發(fā)展的半導(dǎo)體工藝。特別是在新Low-K材料等面世的同時,對于測試技術(shù)的需求日益高漲。高、強(qiáng)電介體成膜用液體材料氣化裝置等新一代的制造裝置系列,以及被廣泛采用的渦輪分子泵等裝置支撐著半導(dǎo)體工業(yè)。
·元件分離工藝(前段工藝)
 RMS測定、保護(hù)膜截面觀察→SPM
  晶片中有機(jī)物污染分析→GCMS QP2010SE
  硬度測定→顯微硬度計
  膜厚的熱變化→DTG
  保護(hù)膜的分子量分析和雜質(zhì)測定→HPLC ESSENTIA LC 51C
  結(jié)晶面的雜質(zhì)測定、異物檢查→顯微FTIR
  晶片中的氧、碳、磷、硼酸的定量,外延膜膜厚測定、膜中的氫濃度、膜的組成、結(jié)晶內(nèi)的O、C的測定、清洗液雙氧水,氨濃度管理→FTIR
  蝕刻液的雜質(zhì)測定、清洗液的測定→UV、AA-6300C
  污染測定→XRF、XPS
  回收水、再生水測定→TOC
  微量雜質(zhì)測定→GC-2014C
 膜厚測定→UV 2450
·晶體管形成工藝(前段工藝)
 蝕刻液的雜質(zhì)測定→AA 6300C
  極薄膜的膜厚測定、組成分析→XRFXPS
 保護(hù)膜的官能團(tuán)測定→FTIR
  排水管理→TOC
  HSG的粒徑測定→SPM
·配線形成工藝(前段工藝)
 BPSG組成分析
SiN中的H分布測定、深度方向組成分析→XRFEDX、XPS
Al、Cu配線的組成分析→XRF、EDXXPS
·后段工藝
 硬度測定→顯微硬度計
  焊接點(diǎn)的表面分析→XPS
  Al腐蝕解析→SSX
 引線框架電鍍液的管理→AA 6300C
  焊接不良解析→SEM
  拉引線、封裝、焊接線的強(qiáng)度試驗(yàn)→材料試驗(yàn)機(jī)
  缺陷檢查→X射線透視、CT裝置
  模樹脂的成形條件評價→流變儀
  環(huán)氧樹脂的熱硬化測定→DSC
  裝置檢查→檢漏儀

與 汽 車 相 關(guān) 的 測 試 裝 置
  面向新一代汽車的開發(fā)和安全性,滿足開發(fā)需求的評價、檢查、試驗(yàn)裝置,作為綜合分析試驗(yàn)裝置生產(chǎn)廠家,可為開發(fā)人們期待的新一代汽車FCV(燃料電池汽車)予以支持,提案各種裝置群。此外,在可作為汽車燃料電池的固體高分子型燃料電池的開發(fā)、因投入基礎(chǔ)設(shè)施最少而被注目的改質(zhì)器的開發(fā)、與FCV的實(shí)用化相關(guān)的新材料的開發(fā)評價等方面也可以提供綜合的幫助。
·改性器測試裝置
 高靈敏度無機(jī)氣體分析裝置GC-2014(PDD)
·無損檢測裝置
 微焦點(diǎn)X射線CT系統(tǒng)SMX-3000micro
·熱分析裝置
 差示掃描量熱儀DSC-60系列
 差熱-熱重同時分析儀DTG-60系列
·燃料電池測試裝置
 超顯微動態(tài)硬度計DUH-211/211S
·材料強(qiáng)度測試裝置
 電子、電裝部件試驗(yàn)(MMT系列)
 電液伺服疲勞試驗(yàn)機(jī)EHF-U系列
 液壓試驗(yàn)機(jī)UH-I系列
 空氣疲勞試驗(yàn)機(jī)ADT-A系列
·燃料電池測試裝置(表面觀察、組成、構(gòu)造、膜厚)
 分析掃描電子顯微鏡 SSX-550型
 多道X射線熒光光譜儀 MXF-2400型
 ICP發(fā)射光譜儀
 X射線衍射儀 XRD-6000型
 氛圍控制掃描探針顯微鏡 WET-SPM系列
 能量色散型X射線熒光光譜儀 EDX系列
 光電直讀光譜儀PDA-7000系列
 掃描型X射線熒光光譜儀 XRF-1800型
 X-ray檢查裝置(CT)
·粉體物理性質(zhì)測試裝置
 激光粒度儀SALD-2201

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